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公开(公告)号：CN109841689A
公开(公告)日：2019-06-04
申请号：CN201910071910.1
申请日：2019-01-25
Applicant: 南京邮电大学
IPC: H01L29/786 , H01L29/24 , H01L29/10
Abstract: 本发明公开了一种非对称峰值掺杂结合梯度掺杂的黑磷场效应管，包括与黑磷原子层平行的源极、漏极以及沟道，所述沟道从源极至漏极依次包括第一N型重掺杂区、第一梯度掺杂结构、峰值掺杂结构、本征黑磷、第二梯度掺杂结构和第二N型重掺杂区。本发明对黑磷场效应管的沟道进行峰值对称梯度掺杂，具有更大的阈值电压、更低的关态电流、更好的开关特性、更好的高频特性，表明该器件能更好的抑制漏致势垒降低效应，更低的亚阈区栅压摆幅，说明该器件拥有更优的栅控能力，能更好的抑制短沟道效应，梯度掺杂结构的引入，使得器件抑制热载流子效应的能力也增强。在较低的工作电压下，能够获得较大的驱动电流，并有望在数字电路中获得应用。
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