公开(公告)号：CN116937138A

公开(公告)日：2023-10-24

申请号：CN202310691105.5

申请日：2023-06-12

Applicant: 南京邮电大学

Inventor： 朱刚毅 ,  邵衡 ,  马迪 ,  田沐霏

IPC: H01Q1/36 ,  H01L33/12 ,  H01L33/06 ,  H01L33/32 ,  H01L33/00 ,  B05D1/00 ,  C23C14/30 ,  C23C14/18 ,  H01Q19/13 ,  H01Q3/08 ,  G01S7/03

Abstract: 本发明公开了纳米声波操控技术领域的一种氮化物LED有源微机械雷达锅及制作方法，旨在解决现有技术中雷达锅在转变探测方向时不能进行发光的问题。雷达锅包括硅衬底层，还包括微腔结构，所述微腔结构的中心由硅衬底层的顶部支撑，其余部分处于悬空状态；所述雷达锅在转变探测方向时，所述微腔结构能够产生自发辐射的荧光，照向所述雷达锅的探测方向；本申请能够在发射超声波时雷达锅指向超声波发射方向且发光照向超声波发射方向。