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公开(公告)号：CN218848383U
公开(公告)日：2023-04-11
申请号：CN202220688783.7
申请日：2022-03-28
Applicant: 南京邮电大学
IPC: G02B6/35
Abstract: 一种基于多模干涉耦合的微流控光开关，由上至下依次为盖板层、波导层和静电驱动层，各层之间采用等离子辅助键合方式连接，盖板的底部中心处开设短形凹槽，波导层的中心位置设置多模干涉耦合转换器，多模干涉耦合转换器可镶嵌于短形凹槽的槽体内，多模干涉耦合转换器的两侧对称布置一对相互平行的单模条形波导，多模干涉耦合转换器通过圆柱形微管与静电驱动层的储液池相连，储液池的底端安装静电微驱动器，静电驱动层的外侧安装两个接线柱。该开关通过静电微驱动器驱动液体进或出微流控多模干涉耦合转换器的腔室来实现所述微流控光开关的开和关的转换功能；具有结构与工艺简单，操作简便，制作成本低，可集成，光学性能良好的优点。
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