公开(公告)号：CN218848383U

公开(公告)日：2023-04-11

申请号：CN202220688783.7

申请日：2022-03-28

Applicant: 南京邮电大学

Inventor： 万静 ,  张伟 ,  袁志文 ,  郭明瑞 ,  蒙列 ,  罗曜伟

IPC: G02B6/35

Abstract: 一种基于多模干涉耦合的微流控光开关，由上至下依次为盖板层、波导层和静电驱动层，各层之间采用等离子辅助键合方式连接，盖板的底部中心处开设短形凹槽，波导层的中心位置设置多模干涉耦合转换器，多模干涉耦合转换器可镶嵌于短形凹槽的槽体内，多模干涉耦合转换器的两侧对称布置一对相互平行的单模条形波导，多模干涉耦合转换器通过圆柱形微管与静电驱动层的储液池相连，储液池的底端安装静电微驱动器，静电驱动层的外侧安装两个接线柱。该开关通过静电微驱动器驱动液体进或出微流控多模干涉耦合转换器的腔室来实现所述微流控光开关的开和关的转换功能；具有结构与工艺简单，操作简便，制作成本低，可集成，光学性能良好的优点。

公开(公告)号：CN217279020U

公开(公告)日：2022-08-23

申请号：CN202122645672.6

申请日：2021-11-01

Applicant: 南京邮电大学

Inventor： 万静 ,  郭明瑞 ,  张伟 ,  蒙列 ,  罗曜伟

IPC: G02B6/35

Abstract: 本实用新型提供了一种基于静电驱动的微流控光开关，所述微流控光开关包括由上而下依次组装的盖板层、静电驱动层、波导层以及平板基底层，所述盖板层、静电驱动层、波导层以及平板基底层相互之间通过等离子辅助键合方式连接；所述静电驱动层上设有静电微驱动器，给所述静电微驱动器施加电压，以实现所述微流控光开关的开或关。本实用新型具有实际的应用价值，而且结构简单，制作成本、生产工艺也大大降低，具有重要的技术价值和经济价值，能够在光通信领域中得到广泛的应用。