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公开(公告)号:CN117973298A
公开(公告)日:2024-05-03
申请号:CN202410243471.9
申请日:2024-03-04
Applicant: 南京邮电大学
IPC: G06F30/367 , G06F111/10
Abstract: 本发明提供了一种短沟道负电容围栅场效应晶体管的数值模拟方法,构建结构为MFIS的短沟道负电容围栅场效应晶体管NC‑GAAFET的源漏电流模型;对常规的GAAFET的源漏电流模型进行解析,求解圆柱形二维泊松方程得到的静电势;根据源区和漏区附近的边界条件得到源漏电流Ids,并计算漏致势垒降低效应参数;耦合常规的短沟道GAAFET的源漏电流模型,并结合挠曲电效应,得到NC‑GAAFET的源漏电流模型;计算NC‑GAAFET的亚阈值摆幅;步骤6:重复步骤2到步骤5,调整不同的铁电层厚度、结构参数以及挠曲电系数,得到不同情况下的电学性能。