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公开(公告)号：CN110308514A
公开(公告)日：2019-10-08
申请号：CN201910682015.3
申请日：2019-07-26
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明涉及一种基于光波导结构的微驱动器，其结构包括光波导层和驱动臂两部分。其中，光波导层含有光波导结构和光热转换区域；光波导层和驱动臂两层或者多层以上下叠加的形式组合而成。其中，所述光波导层可为单层或者多层，光波导结构可为直波导、“U”形波导、Y分支、定向耦合器、环形谐振腔、波导光栅或马赫-曾德尔结构及其变换形式，光热转换区可位于光波导结构的芯层或者包层或者驱动臂或者光热转换区位于光波导层和驱动臂之间或者光波导层表面。本发明提供的基于光波导结构的微驱动器，利用光波导结构控制入射的光信号的导模传输，有利于实现微光机电系统的小型化，集成化和多重控制。
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公开(公告)号：CN110308514B
公开(公告)日：2021-01-26
申请号：CN201910682015.3
申请日：2019-07-26
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明涉及一种基于光波导结构的微驱动器，其结构包括光波导层和驱动臂两部分。其中，光波导层含有光波导结构和光热转换区域；光波导层和驱动臂两层或者多层以上下叠加的形式组合而成。其中，所述光波导层可为单层或者多层，光波导结构可为直波导、“U”形波导、Y分支、定向耦合器、环形谐振腔、波导光栅或马赫‑曾德尔结构及其变换形式，光热转换区可位于光波导结构的芯层或者包层或者驱动臂或者光热转换区位于光波导层和驱动臂之间或者光波导层表面。本发明提供的基于光波导结构的微驱动器，利用光波导结构控制入射的光信号的导模传输，有利于实现微光机电系统的小型化，集成化和多重控制。
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