公开(公告)号：CN114665018A

公开(公告)日：2022-06-24

申请号：CN202210275676.6

申请日：2022-03-21

Applicant: 南京邮电大学

Inventor： 徐勇 ,  张引全 ,  孙华斌 ,  陈子龙 ,  于志浩 ,  吴洁 ,  张晗

IPC: H01L51/40 ,  H01L51/05

Abstract: 本发明公开了一种有机场效应晶体管半导体层P型掺杂方法及制备的有机场效应晶体管，将2,3,5,6‑四氟‑7,7',8,8'‑四氰二甲基对苯醌(F4‑TCNQ)溶于所述有机半导体层的正交溶剂，作为P型掺杂剂，并在空气氛围中将其旋涂于已经旋涂好的有机半导体层薄膜上，通过快速热退火激活掺杂，从而改善电荷输运中跳跃传输和库仑陷阱引发的问题，以此降低阈值电压，提高开关比。对于P型场效应晶体管来说，该P型掺杂增强了空穴输运，有效提高了饱和电流，并且抑制了电子输运，使得晶体管关闭时功耗降低。该掺杂方法基于溶液法操作，工艺简单，制备成本低，可适用于大规模的成产，对柔性、可便携电子设备的应用有很好的前景。