一种面向低强度振源的双稳态MEMS振动能量采集器

    公开(公告)号:CN118487457A

    公开(公告)日:2024-08-13

    申请号:CN202410582960.7

    申请日:2024-05-11

    Abstract: 本发明公开了一种面向低强度振源的双稳态MEMS振动能量采集器,涉及微尺度下低强度环境振动能量采集技术领域,永磁对设于平面非线性弹簧中央可动平台,软磁磁轭对设于永磁对两侧,以形成复合机械非线性与磁力非线性的双稳态可动磁极,导磁磁路设于微型螺线管内部,导磁磁路与微型螺线管之间采用绝缘填充层填充,双稳态可动磁极上下运动时,磁通量通过软磁磁轭对进入导磁磁路,并沿着导磁磁路从微型螺线管内部穿过,以实现微型螺线管内磁通密度增强与磁通方向反转。本发明设计双稳态可动磁极的机械非线性与磁力非线性,实现双稳态可动磁极振动频谱特性的调整,为在微尺度下采集低频段、低强度环境振动能量,以实现微型自供能传感提供解决方案。

    一种集成制造的自供能氢气泄露预警传感器

    公开(公告)号:CN117433704A

    公开(公告)日:2024-01-23

    申请号:CN202311342086.1

    申请日:2023-10-17

    Abstract: 本发明公开了一种集成制造的自供能氢气泄露预警传感器,包括压电材料层、氢敏材料层、金属电极层、微型悬臂梁、底部电极、能量收集电路以及脉冲信号触发电路。氢敏材料层在环境氢气浓度上升时,驱动压电材料层、金属电极层、微型悬臂梁向底部电极发生弯曲变形;在环境氢气浓度达到爆炸极限浓度时,质量块与底部电极接触,形成脉冲感应信号,实现氢气泄露预警;压电材料层在有效应变状态下内部发生极化,将环境振动能转化为电能,为脉冲信号触发电路提供电能,实现氢气泄露自供能预警。本发明以环境振动能量作为氢气传感器能量源,解决现有氢气传感器功耗较高、寿命有限以及集成制造难度高的问题,为实现自供能氢气传感器提供有效的解决方案。

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