一种MOF集成型光子晶体微腔传感器及制备方法

    公开(公告)号:CN114280697A

    公开(公告)日:2022-04-05

    申请号:CN202111431081.7

    申请日:2021-11-29

    Inventor: 刘启发 冯柯瑞

    Abstract: 本发明公开了一种MOF集成型光子晶体微腔传感器及制备方法,光子晶体微腔结构与MOF(金属‑有机框架材料)相结合的折射率传感器,结构包括由一维或二维周期性光子晶体结构组成的无缺陷、点缺陷、线缺陷、面缺陷或异质结构光子谐振腔,及在微腔区域集成制备的MOF结构。MOF材料大的比表面积与光子晶体微腔的高Q(品质因子)和低Vm(模场体积)光子谐振相结合,实现对传感介质的高灵敏度、低阈值传感检测。

    一种MOF集成型光子晶体微腔传感器及制备方法

    公开(公告)号:CN114280697B

    公开(公告)日:2023-06-23

    申请号:CN202111431081.7

    申请日:2021-11-29

    Inventor: 刘启发 冯柯瑞

    Abstract: 本发明公开了一种MOF集成型光子晶体微腔传感器及制备方法,光子晶体微腔结构与MOF(金属‑有机框架材料)相结合的折射率传感器,结构包括由一维或二维周期性光子晶体结构组成的无缺陷、点缺陷、线缺陷、面缺陷或异质结构光子谐振腔,及在微腔区域集成制备的MOF结构。MOF材料大的比表面积与光子晶体微腔的高Q(品质因子)和低Vm(模场体积)光子谐振相结合,实现对传感介质的高灵敏度、低阈值传感检测。

    一种基于石墨烯加热的电热微驱动器

    公开(公告)号:CN217708894U

    公开(公告)日:2022-11-01

    申请号:CN202221659181.5

    申请日:2022-06-30

    Abstract: 本实用新型公开了一种基于石墨烯加热的电热微驱动器,其结构为悬臂梁结构,包括驱动层、偏置层、石墨烯加热层、支撑层和电极;石墨烯作为加热材料,对驱动层实现加热,并由驱动层和偏置层的不同相对位置,实现悬臂梁的不同方向运动。本实用新型结合了石墨烯具有优良的导电性和导热性的优势,实现具有高性能、高驱动效率的电热式微驱动器。

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