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公开(公告)号:CN106323191A
公开(公告)日:2017-01-11
申请号:CN201510348879.3
申请日:2015-06-23
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种共轭差分法检测柱面镜绝对面形的装置,包括气浮光学抗震平台、干涉仪、标准平面镜、柱面CGH、精密电控旋转台、精密三维位移台、万向调节镜架、待测柱面、连接底板、连接片和连接杆,利用该装置可对待测柱面实现在沿母线方向及绕中心轴方向上的共轭运动,从而实现对柱面面形的绝对检测。通过测得柱面这两个方向上的差分量,通过波面复原算法即可恢复出待测波面。本发明结构简单、易于装调、抗震性能好。