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公开(公告)号:CN115747940B
公开(公告)日:2025-02-07
申请号:CN202211528085.1
申请日:2022-11-30
Applicant: 南京理工大学
IPC: C25F7/00 , C25F3/16 , B01F35/42 , B01F33/453
Abstract: 本发明属于三维原子探针技术领域,具体的说是一种三维原子探针电解抛光的搅拌装置,包括搅拌底座、电机、立杆、同步轮、同步带、转盘、驱动磁体、电解桶、钢化玻璃半壳、密封环和从动磁体;电机驱动同步轮转动,经过同步带的传动,使得多个同步轮同步转动,带动多个立杆同步旋转,带动转盘旋转,使得转盘上的两个驱动磁体旋转,通过驱动磁体与从动磁体之间的相互吸引,带动搅拌子在电解桶的底面中部旋转,带动电解桶内部的电解液旋转,使得电解液始终保持运动混合状态,从而使得电解液各部分的浓度使用保持一致,继而使得样品的表面的电解腐蚀程度保持一致,降低了三维原子探针表面产生毛刺的概率,提高了三维原子探针的质量。
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公开(公告)号:CN109813586B
公开(公告)日:2024-08-30
申请号:CN201910145691.7
申请日:2019-02-27
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01N1/28
Abstract: 本发明涉及聚焦离子束双束仪器样品制备领域,具体涉及一种轴向旋转装置。装置包括:转移针尖:用于转移样品;转移针尖夹持台:用于夹持转移针尖,转移针尖在转移针尖夹持台中可轴向旋转设置;旋转主轴:前端设置呈倒“T”型槽,转移针尖固定在所述槽中;旋转手柄:与旋转主轴连接,带动旋转主轴转动,从而带动转移针尖转动。本发明装置通过将针尖固定于旋转主轴上并旋转旋转手柄来旋转针尖,由角度控制台精确控制旋转角度,且角度控制台与旋转主轴通过螺纹连接,保证了转转的稳定,整个装置满足了在聚焦离子束双束仪器制备样品过程中任意方向制样的现实需求,增大聚焦离子束双束仪器制样技术的灵活度,突破了现阶段的标准取样方法。
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公开(公告)号:CN114392985B
公开(公告)日:2023-10-10
申请号:CN202210060261.7
申请日:2022-01-19
Applicant: 南京理工大学
IPC: B08B7/00 , B08B13/00 , G01N23/2251
Abstract: 本发明属于材料领域,具体的说是一种利用特斯拉线圈清理三维原子探针近局域电极的方法,该方法包括如下步骤:S1:首先将三维原子探针近局域电极从三维原子探针设备上取下,然后使用夹持器械将三维原子探针近局域电极固定在清理工作台上;S2:其次将特斯拉线圈尖端对准近局域电极微孔,留有1‑3mm的距离;S3:检查特斯拉线圈、三维原子探针近局域电极正常后,给特斯拉线圈接通电源;通过方法步骤的设计,实现了利用特斯拉线圈尖端产生高压电火花对三维原子探针近局域电极表面脏污进行熔融处理,实现表面高效率清洁的功能,解决了聚焦离子束清洁成本高降低使用寿命的问题,提高了三维原子探针近局域电极清洁的效率。
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公开(公告)号:CN114217098A
公开(公告)日:2022-03-22
申请号:CN202111528433.0
申请日:2021-12-14
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01Q60/38
Abstract: 本发明属于三维原子探针设备领域,具体的说是一种用于安装时转移硅片的推拉式转移台,包括固定器;所述固定器顶端固定连接有圆盘,所述圆盘的顶端固定安装有铜夹子,所述固定器的顶端放置有转移台本体,所述转移台本体的一侧呈弧形,所述转移台本体的顶端开设有凹槽,所述转移台本体的一侧螺纹连接有丝杆;通过使用镊子将硅片安放到凹槽内,然后将转移台本体安放到固定器上,并且让转移台本体的弧形面与圆盘贴合,此时凹槽会与铜夹子处于同一水平面,然后转动丝杆,使得丝杆带动推板进行滑动,从而使推板推动凹槽内的硅片,此时硅片会借助推板的推力被放置到铜夹子上,起到了对硅片进行放置的作用,提高了对硅片安放的安全效率。
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公开(公告)号:CN109346391B
公开(公告)日:2020-10-30
申请号:CN201810977038.2
申请日:2018-08-26
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明涉及一种用于装载近局域电极的聚焦离子束/扫描电镜双束系统样品台。该样品台包括:样品台主体,燕尾形样品槽,方形卡槽,内六角紧定螺钉以及固定杆,固定杆与样品台主体底部垂直。样品台主体内设置有燕尾形样品槽;燕尾形样品槽用于装载近局域电极;燕尾槽底部设置有方形卡槽,方形卡槽用于卡紧近局域电极底部的销钉;内六角紧定螺钉通过方形卡槽顶住近局域电极底部的销钉以进一步固定近局域电极;固定杆用于连接聚焦离子束/扫描电镜双束系统旋转底座。在该发明的使用过程中,样品台与近局域电极依靠机械固定,能有效防止近局域电极的移动,使其工作稳定可靠,有效提高设备效率。
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公开(公告)号:CN109261646A
公开(公告)日:2019-01-25
申请号:CN201810917874.1
申请日:2018-08-13
Applicant: 南京理工大学
IPC: B08B7/00
Abstract: 本发明公开了一种利用聚焦离子束清理三维原子探针近局域电极的方法,方法包括:将三维原子探针近局域电极装于聚焦离子束样品台上,将带三维原子探针近局域电极的样品台放置在聚焦离子束中;在聚焦离子束中,倾转样品台,调整成像补偿角度,调整工作距离;将要切的三维原子探针近局域电极在FIB图像模式下对齐到最中心;将FIB的环切环的外环与三维原子探针近局域电极中心环上的突起缺陷的根部对齐,内环与中心环上突起缺陷的顶端边缘对齐,环切到三维原子探针近局域电极环表面无杂质。本发明提供的清理方法,通过聚焦离子束清理局域电极,实现了三维原子探针近局域电极的彻底清理,尤其是内部的彻底清理,节约了成本。
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公开(公告)号:CN109243950A
公开(公告)日:2019-01-18
申请号:CN201810881491.3
申请日:2018-08-05
Applicant: 南京理工大学
IPC: H01J37/20
Abstract: 本发明公开了一种用于装载原子探针针状试样的样品盒,盒盖、盒体、卡扣、放样平台、减震吸盘、放样圆孔、螺丝、螺孔、螺柱和密封圈;其中盒盖与盒体通过密封圈和卡扣相扣合,放样平台与盒体顶部固定连接,盒体底部设有减震吸盘,放样平台的顶部上设有多个放样圆孔,所述的放样圆孔在放样平台上呈两圈同心圆等角度排列,且内层与外层圆孔错开角度;在放样平台侧面,对应每一放样圆孔,都设有一螺孔,螺孔均对应设有用于固定的螺柱;本发明设有的放样圆孔在放样平台上呈两圈同心圆等角度排列,且内层与外层圆孔,错开一定角度,便于取放样品,避免在取放样品过程中,镊子误触到其他样品,造成样品损伤。
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公开(公告)号:CN110082567B
公开(公告)日:2022-03-18
申请号:CN201910321634.X
申请日:2019-04-22
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明属于材料制备领域,特别是一种旋转式制备三维原子探针样品的方法。包括如下步骤:步骤1:将平面块状材料放置于样品台,在平面块状材料上表面,沿感兴趣区域沉积Pt层;步骤2:提取类三棱柱长条样品:采用聚焦离子束,将感兴趣区域与基体分离;步骤3:旋转类三棱柱长条样品:将步骤2提取的类三棱柱长条样品转移至转动针尖上,转动针尖转动,再将转动之后的类三棱柱长条样品转移至原位纳米操纵杆上;步骤4:成形针尖样品。本申请通过将类三棱柱长条样品在仪器旋转90°后,再进一步得到针尖样品,经过激光激发后,得到的三维原子探针数据经过软件重构后可得到界面以及界面两侧组织结构的数据,利于准确地分析针尖样品中的元素分布和结构。
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公开(公告)号:CN112858150A
公开(公告)日:2021-05-28
申请号:CN202110028436.1
申请日:2021-01-11
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明属于材料抗辐照损伤领域,具体涉及一种筛选核电反应堆压力容器合金耐辐照材料的方法。包括如下步骤:步骤(1):激光重熔制备具有晶粒尺寸梯度的核电反应堆压力容器合金材料;步骤(2):对步骤(1)制备的材料侧面抛光进行辐照实验;步骤(3):对辐照后的材料,选择不同晶粒尺寸的区域,利用显微硬度仪、纳米压痕仪、进行力学性能测试,同时利用聚焦离子束对对辐照前与后材料进行微观结构的表征;进行扫描电镜、透射电镜和三维原子探针分析。本发明可以实现一块样品具有大尺度晶粒尺寸(2‑100um)梯度变化范围同时具有非常大的梯度层(500um),进而探究不同晶粒尺寸对辐照的影响,提高筛选抗辐照的材料效率。
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公开(公告)号:CN110208299A
公开(公告)日:2019-09-06
申请号:CN201910456982.8
申请日:2019-05-29
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01N23/20025
Abstract: 本发明属于电子背散射衍射技术领域,特别是一种聚焦离子束双束系统样品台。包括:样品台主体:样品台主体上表面设置有凹形样品槽,凹形样品槽底部表面设置有弧形螺纹槽,凹形样品槽一侧的侧壁上设有螺纹通孔,螺纹通孔和弧形螺纹槽的轴线重合;紧固螺钉:穿过样品台主体一侧的螺纹通孔,将样品在紧固螺钉和凹形样品槽的另一侧之间固定,伸出螺纹通孔部分的紧固螺钉通过弧形螺纹槽固定在凹形样品槽的底部;固定杆:设置在样品台主体中部的下端,用于连接双束系统的旋转底座。本申请聚焦离子束/扫描电镜双束系统样品台,通过采用机械固定的方式对样品进行固定,有效的防止薄片样品的移动。
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