自动调整紫外激光光束位置的装置及其调整方法

    公开(公告)号:CN107807443A

    公开(公告)日:2018-03-16

    申请号:CN201610812057.0

    申请日:2016-09-08

    Abstract: 本发明公开了一种自动调整紫外激光光束位置的装置及其调整方法,包括准分子紫外激光器、第一反射镜、电控平移台、第二反射镜、柱面镜、相位掩膜板、光纤和白屏,准分子紫外激光器发出紫外光束,经第一反射镜反射至第二反射镜,经第二反射镜反射至柱面镜,经柱面镜聚焦至相位掩膜板,并入射至光纤,使得紫外光束经光纤后形成细丝衍射,并在白屏上出现条纹,通过CCD摄像机采集白屏上的条纹是否对称,并将CCD摄像机采集到的条纹信息送入计算机,若不对称,计算机反馈一个信号给压电陶瓷,压电陶瓷接收信号并调整第二反射镜,使紫外光束准确的照射在光纤上,使得在白屏上获得的条纹中轴线上下对称。本发明具有精度高、响应快、自动调节等优点。

    长周期光纤光栅的纳米级精度栅距的激光刻写装置及方法

    公开(公告)号:CN109387901B

    公开(公告)日:2021-03-02

    申请号:CN201710655051.1

    申请日:2017-08-03

    Abstract: 本发明公开了一种长周期光纤光栅的纳米级精度栅距的激光刻写装置及方法,激光器发出的激光经可调焦柱面透镜组聚焦后再经摆镜反射聚焦于放置在六维调整台上的光纤的纤芯,从而刻写光栅。转台和Tip/Tilt快反镜构成粗精两级扫描角度精密控制子系统,精确控制栅距;角锥棱镜一,角锥棱镜二、反射镜一、分光镜一、分光镜二、He‑Ne激光器、光电探测器构成光干涉精密测角子系统,实时精密测量Tip/Tilt快反镜所转的角度,给控制系统提供闭环控制信号;宽带光源、光谱仪、光纤耦合器组成光栅图谱测量系统,实时测量光栅中心波长、带宽、反射谱、透射谱。本发明通过粗精两级Tip/Tilt快反镜实现刻写激光光束的反射角度高精度扫描,使得长周期光纤光栅的栅距精度优于0.02μm。

    自动调整紫外激光光束位置的方法

    公开(公告)号:CN106707403B

    公开(公告)日:2019-04-16

    申请号:CN201611195388.0

    申请日:2016-12-22

    Abstract: 本发明公开了一种自动调整紫外激光光束位置的方法,包括准分子紫外激光器、第一反射镜、电控平移台、第二反射镜、柱面镜、相位掩膜板和光纤,准分子紫外激光器发出紫外光束,经第一反射镜反射至第二反射镜,经第二反射镜反射至柱面镜,经柱面镜聚焦至相位掩膜板,并入射至光纤,部分紫外光射入光纤内部导致光纤纤芯透射光功率发生改变,通过光功率计测量纤芯透射光功率是否处于最大值,并将光功率计所测数据送入计算机,若不是最大值,计算机反馈一个信号给压电陶瓷,压电陶瓷接收信号并调整第二反射镜,使紫外光束准确的照射在光纤上,使得在光纤纤芯透射光功率最大。本发明具有精度高、响应快、自动调节等优点。

    一种高功率光纤激光器用低反光栅反射率精确测量装置

    公开(公告)号:CN107764514A

    公开(公告)日:2018-03-06

    申请号:CN201610701948.9

    申请日:2016-08-22

    CPC classification number: G01M11/02

    Abstract: 本发明公开了一种高功率光纤激光器用低反光栅反射率精确测量装置,包括宽带光源、单模环形器、模场匹配器、第一法兰盘、第二法兰盘、绕线柱、光谱仪和低反射率光纤光栅,所述宽带光源的输出端通过第一法兰盘与单模环形器的1端口连接,单模环形器的3端口与光谱仪连接,单模环形器的2端口通过第二法兰盘与模场匹配器的单模端连接,模场匹配器的多模端与低反射率光纤光栅的一端熔接,低反射率光纤光栅另一端盘绕在绕线柱上。本发明克服了由于高阶模存在而导致存在测量误差的影响,根据反射谱计算反射率时以光从光纤通过平整切割面到达空气中时拥有的固定反射率值为基准,大大提高了测量的精确性。

    同步测量高功率光纤激光器功率、光谱和光束质量的装置

    公开(公告)号:CN107356407A

    公开(公告)日:2017-11-17

    申请号:CN201610305698.7

    申请日:2016-05-10

    Abstract: 本发明公开了一种同步测量高功率光纤激光器功率、光谱和光束质量的装置,共光轴依次设置准直器、高反镜组、第一楔板玻璃、第一多槽可插拔衰减器、凸透镜和光纤探头,上述元件构成光谱测量光路,准直器设置在待测光纤激光器输出端,光纤探头与光纤光谱仪连接;平凹镜和功率计靶面依次设置在高反镜组的反射光路上,功率计靶面与功率计连接;第二楔板玻璃设置在第一楔板玻璃的反射光路,第二多槽可插拔衰减器和光束质量分析仪依次设置在第二楔板玻璃的反射光路上;上述元件设置在光学平台上。本发明实现了高功率光纤激光器功率、光谱和光束质量的同步测量,提高了测量效率;同时有效减少了光学像差和泵浦光等干扰因素对测量结果的影响,提高了测量精度。

    同步测量高功率光纤激光器功率、光谱和光束质量的装置

    公开(公告)号:CN107356407B

    公开(公告)日:2020-04-10

    申请号:CN201610305698.7

    申请日:2016-05-10

    Abstract: 本发明公开了一种同步测量高功率光纤激光器功率、光谱和光束质量的装置,共光轴依次设置准直器、高反镜组、第一楔板玻璃、第一多槽可插拔衰减器、凸透镜和光纤探头,上述元件构成光谱测量光路,准直器设置在待测光纤激光器输出端,光纤探头与光纤光谱仪连接;平凹镜和功率计靶面依次设置在高反镜组的反射光路上,功率计靶面与功率计连接;第二楔板玻璃设置在第一楔板玻璃的反射光路,第二多槽可插拔衰减器和光束质量分析仪依次设置在第二楔板玻璃的反射光路上;上述元件设置在光学平台上。本发明实现了高功率光纤激光器功率、光谱和光束质量的同步测量,提高了测量效率;同时有效减少了光学像差和泵浦光等干扰因素对测量结果的影响,提高了测量精度。

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