公开(公告)号：CN117512539A

公开(公告)日：2024-02-06

申请号：CN202311413955.5

申请日：2023-10-30

Applicant: 南京理工大学

Inventor： 汪慧英 ,  李建亮 ,  卫宁馨 ,  孔见 ,  熊党生 ,  谈华平 ,  朱和国 ,  黄洁雯 ,  吴秋洁

IPC: C23C14/35 ,  C23C14/06 ,  C23C14/02

Abstract: 本发明属于涂层领域，具体涉及一种硬质耐磨TaN/MoS2复合涂层及其制备方法。本发明以Ta靶和MoS2靶作为靶材，N2为反应气体，氩气为溅射气体，通过直流磁控溅射靶材，在基底上获得TaN/MoS2复合涂层；采用40sccm的总流量，固定氮气流量4sccm，氩气流量36sccm。通过改变MoS2靶材功率改变Mo原子的固溶度和MoS2含量，通过固溶强化效果增强和晶界强化实现涂层硬度和韧性的提高，同时良好的机械性能和MoS2强共价键与弱范德华键结合的特殊结构使涂层摩擦学性能得到提升。