公开(公告)号：CN119653970A

公开(公告)日：2025-03-18

申请号：CN202411735095.1

申请日：2024-11-29

Applicant: 南京工程学院

Inventor： 徐海英 ,  吴军 ,  马逾辉 ,  吴庆春 ,  刘津升

IPC: H10K30/15 ,  H10K30/81 ,  H10K71/12 ,  H10K71/15 ,  H10K71/16

Abstract: 本发明涉及一种宽波段自驱动光电探测器及其制备方法，属于半导体光电器件技术领域。其中光电探测器包括依次层叠设置的n‑GaAs衬底层、Sb2S3层、PEDOT:PSS薄膜层和透明衬底层；n‑GaAs衬底层和Sb2S3层贴合构成异质结；n‑GaAs衬底层和PEDOT:PSS薄膜层错位设置，二者重叠区域完整覆盖Sb2S3层；n‑GaAs衬底层的靠近Sb2S3层的一侧设有第一电极，PEDOT:PSS薄膜层的靠近Sb2S3层的一侧设有第二电极，其中，第一电极设于与PEDOT:PSS薄膜层不重叠的区域，并与第二电极相互远离。本发明提出的宽波段自驱动光电探测器采用高导电的透明PEDOT:PSS薄膜作为探测光的入射窗口，提高入射光的透过率，促进光生载流子的收集；利用Sb2S3微米线和GaAs的吸收峰值对应于不同的光谱范围，实现了宽波段的光探测功能。