公开(公告)号：CN109728006B

公开(公告)日：2020-07-14

申请号：CN201711033195.X

申请日：2017-10-30

Applicant: 南京威派视半导体技术有限公司

Inventor： 闫锋 ,  黄枝建 ,  施毅 ,  马浩文 ,  李煜乾 ,  卜晓峰 ,  孔祥顺 ,  毛成 ,  杨程 ,  张丽敏

IPC: H01L27/146

Abstract: 本发明提供一种基于复合介质栅MOSFET的全局曝光光敏探测器，包括由多个探测单元构成的阵列，每个探测单元包括感光晶体管、电荷存储晶体管和读取晶体管，或者每个探测单元包括感光晶体管、电荷转移晶体管、电荷存储晶体管和读取晶体管；其中，感光晶体管用以实现光敏探测器的感光功能，电荷存储晶体管用以实现光生电荷的存储，读取晶体管用以实现信号的读取，电荷转移晶体管用以控制光生电荷的转移。本发明的探测器无需机械快门，可实现全局曝光与快速读取的功能，与现有浮栅CMOS工艺兼容，制造技术成熟，易于实现，由探测单元构成的阵列与周边电路整合性高，可大幅缩小芯片体积，且任何一个像素的失效不会影响整个成像阵列的正常工作。