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公开(公告)号：CN108560045A
公开(公告)日：2018-09-21
申请号：CN201810594166.9
申请日：2018-06-11
申请人： 南京大学
IPC分类号： C30B23/02
摘要： 本发明公开了一种八面超高真空腔体。包括超高真空主腔室；所述的超高真空腔室是由不锈钢整体机械加工，真空腔室的形状是八棱柱形，在确保腔室的机械强度情况下，实现了腔室的8个侧面8-16个法兰接口，不锈钢棒加工成八棱柱形式，在八棱柱内镗出圆柱形空腔，将八棱柱上下两个面加工为法兰；腔室主体成型后，在其八棱柱的每个腔壁分别镗一或二个孔，孔直接制备法兰接口或焊接法兰。实现腔室的16个侧面法兰接口，能够很方便地观察到腔室内的情况，其真空度及对称性完全可以达到MBE生长腔室的要求。
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公开(公告)号：CN108528463A
公开(公告)日：2018-09-14
申请号：CN201810464411.4
申请日：2018-05-15
申请人： 南京大学
摘要： 加长超高真空载样小车，小车起码有两节，两节以上小车能够载样正常跨越插板阀，所述的超高真空样品输运的每节小车均设有超高真空样品存储平台，每节小车均设有固定在样品存储台的永磁铁，每节小车均起码设有4个小车导向轮；每节小车的长度超过插板阀宽度两倍。该加长超高真空样品输运小车不仅可以载样16块，还可以在超高真空下有插板阀的导轨间正常通行，实现样品在不停系统多腔室的中的传递工作，结构简单。
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公开(公告)号：CN106596990B
公开(公告)日：2018-06-19
申请号：CN201611096440.7
申请日：2016-12-02
申请人： 南京大学
摘要： 本发明公开了超高真空样品输运系统，包括超高真空样品输运小车和串联的超高真空样品室，串联的超高真空样品室之间设有闸板阀片，超高真空样品室铺设轨道；且所述的超高真空样品输运小车主要由2个超高真空样品存储台，超高真空样品存储台顶端均设有固定在样品存储台的永磁铁，设有隔磁金属板隔离在2个超高真空样品存储台之间，超高真空样品输运小车下部设有4‑6个独特的小车导向轮，且小车导向轮在所述轨道上运行，串联的超高真空样品室外表面设有驱动磁铁。实现在超高真空传送系统内同时完成16块样品的输运。
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公开(公告)号：CN105974146A
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：CN201610379096.6
申请日：2016-05-31
申请人： 南京大学
摘要： 本发明的超高真空样品存储转移平台，包括样品存储转移腔和样品存储台，所述的样品存储转移腔由九个真空管路端部并联而成，九个真空管路的外侧设有能够与其他装置进行真空密封连接的真空法兰；设有观察窗与所述第一法兰相密封连接；设有磁力驱动传送杆与所述第二法兰相密封连接；设有闸板阀与所述第四法兰相密封连接；设有分子泵与所述第五法兰相密封连接；设有二维调节机构与所述第九法兰相密封连接；所述样品存储台与所述二维调节机构相连接；所述的样品存储转移腔通过超高真空维持装置保持超高真空环境；所述的闸板阀通过法兰与超高真空系统腔体相连，并通过闸板阀的开关实现超高真空系统腔体和样品存储转移平台的通路或闭合。
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公开(公告)号：CN110040150A
公开(公告)日：2019-07-23
申请号：CN201910298170.5
申请日：2019-04-15
申请人： 南京大学
IPC分类号： B61B13/10
摘要： 一种非直线互联真空管道间的样品中转装置，设有一中转腔位于若干条不同直线上的真空直通管道的交叉点位置，此中转腔的侧面设有法兰将若干不都在同一直线上的真空直通管道连接到中转腔，中转腔的底部有一转盘，转盘的转轴延伸到腔外，腔外设有与转轴固定的旋钮，旋钮能使转盘旋转，转盘上设有导轨；中转腔内靠近直通管道的位置有一齿轮，通过腔外旋钮使齿轮旋转；载样小车在直通管道内部导轨上运行，直通管道内部导轨与转盘上设有的导轨在同一平面上；在直通管道中载样小车是通过管道外部设有导轨上的磁铁引导移动。
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公开(公告)号：CN106596990A
公开(公告)日：2017-04-26
申请号：CN201611096440.7
申请日：2016-12-02
申请人： 南京大学
CPC分类号： G01N35/02 , G01N35/04 , G01N2035/046
摘要： 本发明公开了超高真空样品输运系统，包括超高真空样品输运小车和串联的超高真空样品室，串联的超高真空样品室之间设有闸板阀片，超高真空样品室铺设轨道；且所述的超高真空样品输运小车主要由2个超高真空样品存储台，超高真空样品存储台顶端均设有固定在样品存储台的永磁铁，设有隔磁金属板隔离在2个超高真空样品存储台之间，超高真空样品输运小车下部设有4‑6个独特的小车导向轮，且小车导向轮在所述轨道上运行，串联的超高真空样品室外表面设有驱动磁铁。实现在超高真空传送系统内同时完成16块样品的输运。
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公开(公告)号：CN209813977U
公开(公告)日：2019-12-20
申请号：CN201920502721.0
申请日：2019-04-15
申请人： 南京大学
IPC分类号： B61B13/10
摘要： 一种非直线互联真空管道间的样品中转装置，设有一中转腔位于若干条不同直线上的真空直通管道的交叉点位置，此中转腔的侧面设有法兰将若干不都在同一直线上的真空直通管道连接到中转腔，中转腔的底部有一转盘，转盘的转轴延伸到腔外，腔外设有与转轴固定的旋钮，旋钮能使转盘旋转，转盘上设有导轨；中转腔内靠近直通管道的位置有一齿轮，通过腔外旋钮使齿轮旋转；载样小车在直通管道内部导轨上运行，直通管道内部导轨与转盘上设有的导轨在同一平面上；在直通管道中载样小车是通过管道外部设有导轨上的磁铁引导移动。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN208762603U
公开(公告)日：2019-04-19
申请号：CN201820896600.4
申请日：2018-06-11
申请人： 南京大学
IPC分类号： C30B23/02
摘要： 本实用新型公开了一种八面超高真空腔体。包括超高真空主腔室；所述的超高真空腔室是由不锈钢整体机械加工，真空腔室的形状是八棱柱形，在确保腔室的机械强度情况下，实现了腔室的8个侧面8-16个法兰接口，不锈钢棒加工成八棱柱形式，在八棱柱内镗出圆柱形空腔，将八棱柱上下两个面加工为法兰；腔室主体成型后，在其八棱柱的每个腔壁分别镗一或二个孔，孔直接制备法兰接口或焊接法兰。实现腔室的16个侧面法兰接口，能够很方便地观察到腔室内的情况，其真空度及对称性完全可以达到MBE生长腔室的要求。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN205826675U
公开(公告)日：2016-12-21
申请号：CN201620517194.7
申请日：2016-05-31
申请人： 南京大学
摘要： 本实用新型的超高真空样品存储转移平台，包括样品存储转移腔和样品存储台，所述的样品存储转移腔由九个真空管路端部并联而成，九个真空管路的外侧设有能够与其他装置进行真空密封连接的真空法兰；设有观察窗与所述第一法兰相密封连接；设有磁力驱动传送杆与所述第二法兰相密封连接；设有闸板阀与所述第四法兰相密封连接；设有分子泵与所述第五法兰相密封连接；设有二维调节机构与所述第九法兰相密封连接；所述样品存储台与所述二维调节机构相连接；所述的样品存储转移腔通过超高真空维持装置保持超高真空环境；所述的闸板阀通过法兰与超高真空系统腔体相连，并通过闸板阀的开关实现超高真空系统腔体和样品存储转移平台的通路或闭合。
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