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公开(公告)号:CN108528463A
公开(公告)日:2018-09-14
申请号:CN201810464411.4
申请日:2018-05-15
申请人: 南京大学
摘要: 加长超高真空载样小车,小车起码有两节,两节以上小车能够载样正常跨越插板阀,所述的超高真空样品输运的每节小车均设有超高真空样品存储平台,每节小车均设有固定在样品存储台的永磁铁,每节小车均起码设有4个小车导向轮;每节小车的长度超过插板阀宽度两倍。该加长超高真空样品输运小车不仅可以载样16块,还可以在超高真空下有插板阀的导轨间正常通行,实现样品在不停系统多腔室的中的传递工作,结构简单。