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公开(公告)号：CN110687142A
公开(公告)日：2020-01-14
申请号：CN201910942563.5
申请日：2019-09-30
Applicant: 南京大学
IPC: G01N23/20008 , G01N23/20058 , G01N23/2055
Abstract: 本发明公开了一种实现低电子剂量高分辨成像的光阑、装置及方法，属于显微成像领域。针对现有技术中由于某些对电子较为敏感的样品在荷电粒子束流剂量较大的情况下会受到严重的辐照损伤而影响观测，而减小光阑孔径会导致荷电粒子束流会聚角减小而降低成荷电粒子束流像分辨率的问题，本发明提供了一种实现低电子剂量高分辨成像的光阑、装置及方法，该装置包括依次设置的电子束发射枪、会聚镜、会聚镜光阑、扫描控制装置和探测器，通过会聚镜光阑的光线经过样品形成衍射图样，通过基于实现低电子剂量高分辨成像装置的成像方法重构出高分辨率图像，在不影响观测分辨率的前提下减少相同时间内辐照到样品的电子剂量，实现低电子剂量高分辨率的成像效果。
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