一种GeTe4相变记忆元件及制备方法

    公开(公告)号:CN102769101A

    公开(公告)日:2012-11-07

    申请号:CN201210235824.8

    申请日:2012-07-09

    Applicant: 南京大学

    Abstract: 一种GeTe4相变记忆元件,选用GeTe4薄膜为相变记忆存储材料,所述GeTe4薄膜在室温下为非晶态;相变记忆元件的基本构型为三层结构,最上面一层为顶电极膜(1),中间一层为GeTe4薄膜(2),下面一层为底电极膜(3),由顶电极膜(1)和底电极膜(3)分别接出用铜丝或金丝制成引线;GeTe4薄膜(2)厚120±30纳米;三层结构制备相变记忆元件沉积在衬底(5)上。针对相变记忆存储器的发展,提供一种新型相变记忆材料GeTe4薄膜及其制备方法,得到GeTe4相变记忆元件。

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