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公开(公告)号：CN118565451A
公开(公告)日：2024-08-30
申请号：CN202411017277.5
申请日：2024-07-29
申请人： 南京元感微电子有限公司
IPC分类号： G01C19/5642 , G01C19/5663
摘要： 本发明涉及陀螺技术领域，公开一种全解耦双检测陀螺，包括：外部连接组件，包括悬设在衬底上的外框；两个驱动组件，两个驱动组件沿第一方向设置在外框内，每个驱动组件均包括驱动框和驱动电极；两个解耦组件，每个解耦组件均包括解耦框；两个检测组件，每个检测组件均包括连接框、内部连接弹性梁、检测框及检测固定电极，每个检测组件的检测框能够随连接框沿第二方向同步同向往复运动，还能够随连接框沿第二方向同步反向往复运动。本发明公开的全解耦双检测陀螺，存在两种检测模态，一方面可以在保证灵敏度的情况下，拓宽陀螺的带宽，增加陀螺的适用范围；另一方面可以在保证带宽的基础上，提高陀螺的灵敏度，降低了陀螺噪声，提高了陀螺精度。
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公开(公告)号：CN115436436B
公开(公告)日：2023-03-10
申请号：CN202211368549.7
申请日：2022-11-03
申请人： 南京元感微电子有限公司
IPC分类号： G01N27/12
摘要： 本发明涉及气敏传感器技术领域，公开一种FET气敏传感器及其加工方法。其中FET气敏传感器包括：衬底，设有隔热腔室；绝缘层，位于隔热腔室的一端且固定在衬底上；硅岛，位于绝缘层的第一侧面上且位于隔热腔室内；FET加热组件，包括源极、漏极及感应电极组，源极和漏极间隔排布在硅岛内且与第一侧面接触，感应电极组设置在绝缘层的第二侧面上，源极和漏极导通时能够产生热量；气敏层，覆盖在感应电极组上。本发明公开的FET气敏传感器的FET加热组件，利用场效应晶体管的焦耳热对气敏层进行加热，具有加热均匀、功耗低、寿命长、易与调理电路一致性加工的特点，利于实现FET气敏传感器的小型化、智能化及集成化。
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公开(公告)号：CN111939991A
公开(公告)日：2020-11-17
申请号：CN202010659077.5
申请日：2020-07-09
申请人： 南京元感微电子有限公司
摘要： 本公开提供一种微流控系统及其制备方法中，系统包括：底座；衬底，所述衬底设置在所述底座上，并且所述衬底上设置有入口、出口以及分别连通所述入口和所述出口的微流通道；微流泵，所述微流泵设置在所述衬底上，并与所述微流通道相连，以将流体经由所述入口和所述微流通道泵送至所述出口处；流量检测组件，所述流量检测组件设置在所述衬底上，所述流量检测组件与所述微流通道相对应，以检测所述微流通道内的流体流量。本公开实施例的一种微流控系统，将微流通道、微流泵、流量检测组件等均集成到同一衬底上，得到了使样品的注入、预处理、控制等功能结合在一起的集成芯片，实现了微流控分析系统的微型化。
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公开(公告)号：CN111537054B
公开(公告)日：2020-09-29
申请号：CN202010569153.3
申请日：2020-06-20
申请人： 南京元感微电子有限公司
摘要： 本公开提供一种压力与水声集成传感器及其制备方法，集成传感器包括：衬底，衬底包括沿其厚度方向相对设置的第一表面和第二表面，第一表面上设置第一背腔和第二背腔；顶盖，顶盖设置在第二表面上，顶盖上设置有贯穿其厚度的第一金属化过孔和第二金属化过孔，并且顶盖朝向衬底的一侧还设置有第一空腔和第二空腔，第一空腔和第二空腔分别对应第一背腔和第二背腔；在衬底上采用同步构图工艺形成压力传感单元和水声传感单元，压力传感单元与第一金属化过孔相连，水声传感单元与第二金属化过孔相连。本公开的集成传感器，将压力传感器与水声传感器进行集成，压力传感器与水声传感器的探头之间距离较小，减少水声传感器的背景噪声，提高水声测量的精度。
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公开(公告)号：CN111537054A
公开(公告)日：2020-08-14
申请号：CN202010569153.3
申请日：2020-06-20
申请人： 南京元感微电子有限公司
摘要： 本公开提供一种压力与水声集成传感器及其制备方法，集成传感器包括：衬底，衬底包括沿其厚度方向相对设置的第一表面和第二表面，第一表面上设置第一背腔和第二背腔；顶盖，顶盖设置在第二表面上，顶盖上设置有贯穿其厚度的第一金属化过孔和第二金属化过孔，并且顶盖朝向衬底的一侧还设置有第一空腔和第二空腔，第一空腔和第二空腔分别对应第一背腔和第二背腔；在衬底上采用同步构图工艺形成压力传感单元和水声传感单元，压力传感单元与第一金属化过孔相连，水声传感单元与第二金属化过孔相连。本公开的集成传感器，将压力传感器与水声传感器进行集成，压力传感器与水声传感器的探头之间距离较小，减少水声传感器的背景噪声，提高水声测量的精度。
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公开(公告)号：CN117490673B
公开(公告)日：2024-03-12
申请号：CN202410002790.0
申请日：2024-01-02
申请人： 南京元感微电子有限公司
IPC分类号： G01C19/5712
摘要： 本发明涉及三轴陀螺仪技术领域，公开一种抑制交叉轴耦合的三轴MEMS陀螺仪,包括驱动结构、第一方向检测结构、第二方向检测结构及第三方向检测结构，驱动结构包括驱动电极和驱动连接框，第一方向检测结构包括第一连接弹性件和第一质量块，第二方向检测结构包括第一过渡框和第二质量块，第三方向检测结构包括第二过渡框、第三质量块及第三方向检测电极；第一质量块和与其正对的衬底形成的第一方向检测电极用于检测第一方向的角速度，第二质量块和与其正对的衬底形成的第二方向检测电极用于检测第二方向的角速度，第三方向检测电极用于检测第三方向的角速度。本发明公开的三轴MEMS陀螺仪体积小、精度高，抑制了检测轴之间的交叉耦合。
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公开(公告)号：CN117490672B
公开(公告)日：2024-03-01
申请号：CN202410002777.5
申请日：2024-01-02
申请人： 南京元感微电子有限公司
IPC分类号： G01C19/5712
摘要： 本发明涉及三轴陀螺仪技术领域，公开一种集成式三轴陀螺仪，包括四个质量块，相邻两个质量块中的一个上设有抗冲击槽，另一个上设有抗冲击块；还包括两个驱动框，沿第二方向分布的质量块和与其正对的衬底形成的第一方向检测电极能够检测第一方向的角速度，另外两个质量块和与其正对的衬底形成的第二方向检测电极能够检测第二方向的角速度；每个驱动框内均设有解耦框，解耦框内设有第三方向检测框，第三方向检测框内设有第三方向检测电极，检测第三方向的角速度时，第三方向检测框沿第二方向往复运动，第三方向检测电极能够检测第三方向的角速度。本发明公开的集成式三轴陀螺仪抗外界环境冲击性能强，检测不同方向的角速度的准确性高。
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公开(公告)号：CN117401646B
公开(公告)日：2024-02-09
申请号：CN202311697023.8
申请日：2023-12-12
申请人： 南京元感微电子有限公司
摘要： 本发明涉及气体传感器技术领域，公开一种MEMS气体传感器及其加工方法，加工方法包括：依次形成第二绝缘层、加热电极、第三绝缘层；在衬底上形成正对加热电极的散热腔；形成键合层；加工检测槽、容纳槽、第一连通通道和第二连通通道；在检测槽内形成敏感电极；形成气敏层；向检测槽和容纳槽内加入热释气剂和硅酸钠的溶液，并蒸发以除去水分；将热变形件键合在键合层上；在热变形件上形成第一曲面凸起和第二曲面凸起；冷却、退火后切片，形成若干个气体检测单元；在第二连通通道和容纳腔内形成分子筛层。本发明形成的MEMS气体传感器具有准确性好、灵敏度高、稳定性强及使用寿命长的优点。
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公开(公告)号：CN116223570A
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN202310517999.6
申请日：2023-05-10
申请人： 南京元感微电子有限公司
摘要： 本发明涉及气体传感器技术领域，公开一种气体传感器及其加工方法，加工方法包括步骤：在第一硅衬底上依次形成氧化层、第一氮化物层、粘附层及加热电极；在加热电极上形成第二氮化物层；在第二氮化物层上形成金层；去除部分金层、第二氮化物层、粘附层及第一氮化物层，形成岛部加热组件和支撑固定组件；去除第二预设区域的氧化层；去除部分第一硅衬底，形成隔热槽；将第二硅衬底共晶键合在金层上；减薄并抛光第二硅衬底；在第二硅衬底上加工释放孔；第二硅衬底湿法腐蚀为多孔硅衬底，涂覆敏感材料并烘干，形成探测电极。采用本发明公开的气体传感器的加工方法加工而成的气体传感器，具有结构简单、灵敏度高、稳定性好及使用寿命长的特点。
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公开(公告)号：CN115523961B
公开(公告)日：2023-02-28
申请号：CN202211369716.X
申请日：2022-11-03
申请人： 南京元感微电子有限公司
摘要： 本发明涉及传感器技术领域，公开一种气体与电容式压力传感器及其加工方法，其中加工方法包括：提供带气体腔室和压力腔室的SOI衬底；在第二硅衬底上形成第一预设厚度的绝缘层；在绝缘层上形成加热电极；在加热电极和绝缘层上形成第二预设厚度的绝缘层；减薄正对压力腔室的绝缘层；在绝缘层上形成敏感电极；相邻两个气敏检测单元之间形成隔离槽；去除正对气体腔室的第二硅衬底；在每个敏感电极上均形成气敏层。本发明公开的气体与电容式压力传感器的加工方法，解决了现有技术存在的气体传感器与压力传感器无法集成在一起的问题，适用于电池发生热失控前监测电池释放的气体成分、浓度及当前的气压，对预测电池的热失控具有重大意义。
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