一种光纤MEMS可调谐滤波器及其制作方法

    公开(公告)号:CN112285953A

    公开(公告)日:2021-01-29

    申请号:CN202011392827.3

    申请日:2020-12-03

    Abstract: 本发明公开了一种光纤MEMS可调谐滤波器及其制作方法,包括光纤和敏感元件,敏感元件从上至下依次包括上DBR反射镜、多晶硅介质膜、下DBR反射镜和氮化硅,上DBR反射镜上设有金属电阻,上述金属电阻包括加热电阻和测温电阻,光纤包括入射光纤和出射光纤,对称设于敏感元件两侧,入射光纤设于上DBR反射镜一侧,出射光纤设于下DBR反射镜一侧,出射光纤固定在硅衬底上,且入射光线和出射光纤在一条直线上,上DBR反射镜、多晶硅介质膜和下DBR反射镜构成法布里‑珀罗腔,通过加热电阻的直接加热改变多晶硅介质膜的折射率,改变入射光光程,实现对光的调谐滤波。本发明具有可批量生产、体积小、制作方法简单、成本低的优点,制作的传感器具有可快速调谐的优点。

    一种阵列式多通道光纤传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN111272703A

    公开(公告)日:2020-06-12

    申请号:CN202010194494.7

    申请日:2020-03-19

    Abstract: 本发明公开了一种阵列式多通道光纤传感器及其制备方法,该传感器包括银膜、氧化铟锡-银复合膜、氧化铟锡-金复合膜、二氧化钛-银复合膜、二氧化钛-金复合膜和五个抛磨的单模光纤,五个抛磨的单模光纤分别镀上银膜、氧化铟锡-银复合膜、氧化铟锡-金复合膜、二氧化钛-银复合膜和二氧化钛-金复合膜,所述五个抛磨的单模光纤两两熔接,并提供该传感器的制备方法,本发明的传感器具有体积小、寿命长、灵敏度高、重复利用性好、精确度高的优点。

    一种阵列式多通道光纤传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN111272703B

    公开(公告)日:2022-10-14

    申请号:CN202010194494.7

    申请日:2020-03-19

    Abstract: 本发明公开了一种阵列式多通道光纤传感器及其制备方法,该传感器包括银膜、氧化铟锡‑银复合膜、氧化铟锡‑金复合膜、二氧化钛‑银复合膜、二氧化钛‑金复合膜和五个抛磨的单模光纤,五个抛磨的单模光纤分别镀上银膜、氧化铟锡‑银复合膜、氧化铟锡‑金复合膜、二氧化钛‑银复合膜和二氧化钛‑金复合膜,所述五个抛磨的单模光纤两两熔接,并提供该传感器的制备方法,本发明的传感器具有体积小、寿命长、灵敏度高、重复利用性好、精确度高的优点。

    同时检测温度与湿度的光纤传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN110207760A

    公开(公告)日:2019-09-06

    申请号:CN201910608958.1

    申请日:2019-07-08

    Abstract: 本发明公开了同时检测温度与湿度的光纤传感器,属于光纤传感技术领域,包括普通单模光纤,该普通单模光纤芯层为普通单模光纤纤芯;在普通单模光纤上设置裸芯区域,露出普通单模光纤纤芯;在裸芯区域上覆盖金膜,在金膜上覆盖PDMS膜,形成基于等离子体共振的温度传感器;普通单模光纤一侧端面与空芯光子晶体光纤一侧的端面熔接,形成基于法布里-珀罗干涉的检测湿度传感器。本发明还公开了其制备方法。本发明制作普通单模光纤一定长度的裸芯区域,并在裸芯区域涂覆金膜,在金膜上涂覆PDMS膜,形成基于等离子体共振的温度传感器部分,普通单模光纤与空芯光子晶体光纤进行熔接,并在空芯光子晶体光纤的右端面涂覆PVA膜,形成F-P腔,形成基于法布里—珀罗干涉仪的气体检测传感器;其制备方法简单,成本低。

    井下压力报警装置
    5.
    实用新型

    公开(公告)号:CN213812717U

    公开(公告)日:2021-07-27

    申请号:CN202023329813.5

    申请日:2020-12-30

    Abstract: 本实用新型公开了一种井下压力报警装置,包括光源、光纤耦合器、石墨烯光纤压力传感器、光电转换电路、A/D转换电路和报警模块,所述光源、石墨烯光纤压力传感器和光电转换电路通过光纤耦合器相连;石墨烯光纤压力传感器包括一端设有凹腔的单模光纤,在端面设有一层石墨烯薄膜封住凹腔形成F‑P腔;光源发出的光信号通过光纤传输,经光纤耦合器传输至石墨烯光纤压力传感器,经F‑P腔调制后的光信号经光纤耦合器被光电转换电路接收,光电转换电路将调制后的光信号转换成电信号并放大,通过A/D转换电路将电信号以二进制数字信号输出,通过报警模块与设定阈值相比较,超出阈值时报警。本实用新型提高了在井下整个探测范围内(0‑8km)压力测量的灵敏度和分辨率。

    一种光纤MEMS可调谐滤波器

    公开(公告)号:CN213903986U

    公开(公告)日:2021-08-06

    申请号:CN202022864532.3

    申请日:2020-12-03

    Abstract: 本发明公开了一种光纤MEMS可调谐滤波器及其制作方法,包括光纤和敏感元件,敏感元件从上至下依次包括上DBR反射镜、多晶硅介质膜、下DBR反射镜和氮化硅,上DBR反射镜上设有金属电阻,金属电阻包括加热电阻和测温电阻,光纤包括入射光纤和出射光纤,入射光纤设于上DBR反射镜一侧,出射光纤设于下DBR反射镜一侧,出射光纤固定在硅衬底上,上DBR反射镜、多晶硅介质膜和下DBR反射镜构成法布里‑珀罗腔,通过加热电阻的直接加热改变多晶硅介质膜的折射率,改变入射光光程,实现对光的调谐滤波。本发明具有可批量生产、体积小、制作方法简单、成本低的优点,制作的传感器具有可快速调谐的优点。

    同时检测温度与湿度的光纤传感器

    公开(公告)号:CN209978960U

    公开(公告)日:2020-01-21

    申请号:CN201921053502.5

    申请日:2019-07-08

    Abstract: 本实用新型公开了同时检测温度与湿度的光纤传感器,属于光纤传感技术领域,包括普通单模光纤,该普通单模光纤芯层为普通单模光纤纤芯;在普通单模光纤上设置裸芯区域,露出普通单模光纤纤芯;在裸芯区域上覆盖金膜,在金膜上覆盖PDMS膜,形成基于等离子体共振的温度传感器;普通单模光纤一侧端面与空芯光子晶体光纤一侧的端面熔接,形成基于法布里-珀罗干涉的检测湿度传感器。本实用新型制作普通单模光纤一定长度的裸芯区域,并在裸芯区域涂覆金膜,在金膜上涂覆PDMS膜,形成基于等离子体共振的温度传感器部分,普通单模光纤与空芯光子晶体光纤进行熔接,并在空芯光子晶体光纤的右端面涂覆PVA膜,形成F-P腔,形成基于法布里—珀罗干涉仪的气体检测传感器。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

    一种可选择性的双通道光纤传感器

    公开(公告)号:CN209821048U

    公开(公告)日:2019-12-20

    申请号:CN201920583493.4

    申请日:2019-04-26

    Abstract: 本实用新型公开了一种可选择性的双通道光纤传感器,属于光纤传感技术领域,包括单模光纤纤芯,在单模光纤纤芯外周设置单模光纤包层,在所述的单模光纤包层的上侧和下侧均设置抛磨面区域,在上侧的抛磨面区域设置TIO2-AU复合膜,在下侧的抛磨面区域设置ITO-AU复合膜。本实用新型采用TIO2-AU复合膜与ITO-AU复合膜代替传统单层金属膜,既保持了原有的金膜在spr结构的灵敏度又可以在一定程度上增加其灵敏度;本实用新型的传感器产生的两个共振波谷有明显的差别使其在被利用观察时可以更加直观明朗,因其高灵敏度以及方便有效性能够在各种检测领域起到十分有益的结果。

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