一种光纤MEMS可调谐滤波器及其制作方法

    公开(公告)号:CN112285953A

    公开(公告)日:2021-01-29

    申请号:CN202011392827.3

    申请日:2020-12-03

    Abstract: 本发明公开了一种光纤MEMS可调谐滤波器及其制作方法,包括光纤和敏感元件,敏感元件从上至下依次包括上DBR反射镜、多晶硅介质膜、下DBR反射镜和氮化硅,上DBR反射镜上设有金属电阻,上述金属电阻包括加热电阻和测温电阻,光纤包括入射光纤和出射光纤,对称设于敏感元件两侧,入射光纤设于上DBR反射镜一侧,出射光纤设于下DBR反射镜一侧,出射光纤固定在硅衬底上,且入射光线和出射光纤在一条直线上,上DBR反射镜、多晶硅介质膜和下DBR反射镜构成法布里‑珀罗腔,通过加热电阻的直接加热改变多晶硅介质膜的折射率,改变入射光光程,实现对光的调谐滤波。本发明具有可批量生产、体积小、制作方法简单、成本低的优点,制作的传感器具有可快速调谐的优点。

    一种基于层层自组装金纳米小球的LSPR光纤传感器

    公开(公告)号:CN212722603U

    公开(公告)日:2021-03-16

    申请号:CN202021618827.6

    申请日:2020-08-06

    Abstract: 本实用新型公开了一种基于层层自组装金纳米小球的LSPR光纤传感器,包括一段单模光纤和分别连接于单模光纤两端的两段多模光纤,多模光纤与单模光纤的纤芯中心轴在一条直线上,单模光纤包层侧表面涂覆一层金纳米小球。与SPR光纤传感器相比,制作简单且成本低。本实用新型光纤传感效果良好,制备时间短,且具有较好的重复性和较强的抗干扰能力。

    井下压力报警装置
    3.
    实用新型

    公开(公告)号:CN213812717U

    公开(公告)日:2021-07-27

    申请号:CN202023329813.5

    申请日:2020-12-30

    Abstract: 本实用新型公开了一种井下压力报警装置,包括光源、光纤耦合器、石墨烯光纤压力传感器、光电转换电路、A/D转换电路和报警模块,所述光源、石墨烯光纤压力传感器和光电转换电路通过光纤耦合器相连;石墨烯光纤压力传感器包括一端设有凹腔的单模光纤,在端面设有一层石墨烯薄膜封住凹腔形成F‑P腔;光源发出的光信号通过光纤传输,经光纤耦合器传输至石墨烯光纤压力传感器,经F‑P腔调制后的光信号经光纤耦合器被光电转换电路接收,光电转换电路将调制后的光信号转换成电信号并放大,通过A/D转换电路将电信号以二进制数字信号输出,通过报警模块与设定阈值相比较,超出阈值时报警。本实用新型提高了在井下整个探测范围内(0‑8km)压力测量的灵敏度和分辨率。

    一种光纤法珀湿度传感器及其制备与实验装置

    公开(公告)号:CN217059926U

    公开(公告)日:2022-07-26

    申请号:CN202220241505.7

    申请日:2022-01-28

    Abstract: 本实用新型公开了一种光纤法珀湿度传感器及其制备与实验装置,包括:多模光纤纤芯、多模光纤包层、PVA薄膜和空气腔,所述多模光纤纤芯的四周包覆多模光纤包层,所述空气腔阻断所述多模光纤纤芯,所述空气腔外部包覆多模光纤包层,所述PVA薄膜设于多模光纤纤芯的端部。本实用新型优化了空气腔的反射面,增大了反射面的曲率半径,从而使更多的光被束缚在纤芯中传播,提高了反射谱的条纹干涉对比度,同时实现了湿度传感,在相对湿度为29.1%‑81.8%RH范围内,平均灵敏度达73.2pm/%RH。

    一种光纤湿度传感器及湿度传感器检测装置

    公开(公告)号:CN214150438U

    公开(公告)日:2021-09-07

    申请号:CN202023215525.7

    申请日:2020-12-28

    Abstract: 本实用新型公开了一种光纤湿度传感器及湿度传感器检测装置,光纤湿度传感器由等直径的多模光纤和单模光纤拼接而成,所述多模光纤包括多模光纤纤芯以及包覆在多模光纤纤芯外圈的多模光纤包层,所述单模光纤包括单模光纤纤芯以及包覆在单模光纤纤芯外圈的单模光纤包层,所述多模光纤纤芯和单模光纤纤芯由端部熔接形成探针结构的光纤段,所述光纤段外层镀有一层银膜,所述银膜外层涂敷有一层聚乙烯醇薄膜。利用多模光纤和单模光纤熔接成探针结构,并镀上银膜和聚乙烯醇薄膜,利用表面等离子体共振理论实现湿度传感,其结构简单,简便了工艺程序从而降低了成本。

    一种光纤MEMS可调谐滤波器

    公开(公告)号:CN213903986U

    公开(公告)日:2021-08-06

    申请号:CN202022864532.3

    申请日:2020-12-03

    Abstract: 本发明公开了一种光纤MEMS可调谐滤波器及其制作方法,包括光纤和敏感元件,敏感元件从上至下依次包括上DBR反射镜、多晶硅介质膜、下DBR反射镜和氮化硅,上DBR反射镜上设有金属电阻,金属电阻包括加热电阻和测温电阻,光纤包括入射光纤和出射光纤,入射光纤设于上DBR反射镜一侧,出射光纤设于下DBR反射镜一侧,出射光纤固定在硅衬底上,上DBR反射镜、多晶硅介质膜和下DBR反射镜构成法布里‑珀罗腔,通过加热电阻的直接加热改变多晶硅介质膜的折射率,改变入射光光程,实现对光的调谐滤波。本发明具有可批量生产、体积小、制作方法简单、成本低的优点,制作的传感器具有可快速调谐的优点。

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