一种整体式柔顺板精密定位平台

    公开(公告)号:CN100527281C

    公开(公告)日:2009-08-12

    申请号:CN200610033931.7

    申请日:2006-02-28

    Abstract: 本发明公开了一种整体式柔顺板精密定位平台,包括基座、输出平台、驱动器、驱动器紧固件,还包括柔顺平行四杆机构及平板弹簧;驱动器通过驱动器紧固件紧固在基座上,其输出端顶住平板弹簧的右端,平板弹簧的左端与输出平台相连;柔顺平行四杆机构与基座连成一体,还与输出平台的四个角相连;平板弹簧、基座沿输出平台的运动方向对称分布。本发明能在驱动器位移分辨率和定位精度较低时,通过平板弹簧将驱动器的输出位移大幅缩小并驱动输出平台实现高分辨率运动。本发明性价比高,定位精度达到纳米级,有很好的热稳定性,可应用于扫描隧道显微技术,磁头定位、医疗显微操作等需要精密定位的领域。

    一种整体式柔顺板精密定位平台

    公开(公告)号:CN1811993A

    公开(公告)日:2006-08-02

    申请号:CN200610033931.7

    申请日:2006-02-28

    Abstract: 本发明公开了一种整体式柔顺板精密定位平台,包括基座、输出平台、驱动器、驱动器紧固件,还包括柔顺平行四杆机构及平板弹簧;驱动器通过驱动器紧固件紧固在基座上,其输出端顶住平板弹簧的右端,平板弹簧的左端与输出平台相连;柔顺平行四杆机构与基座连成一体,还与输出平台的四个角相连;平板弹簧、基座沿输出平台的运动方向对称分布。本发明能在驱动器位移分辨率和定位精度较低时,通过平板弹簧将驱动器的输出位移大幅缩小并驱动输出平台实现高分辨率运动。本发明性价比高,定位精度达到纳米级,有很好的热稳定性,可应用于扫描隧道显微技术,磁头定位、医疗显微操作等需要精密定位的领域。

    一种柔顺板式精密定位平台

    公开(公告)号:CN2904209Y

    公开(公告)日:2007-05-23

    申请号:CN200620055467.7

    申请日:2006-02-28

    Abstract: 本实用新型公开了一种柔顺板式精密定位平台,包括基座、输出平台、驱动器、驱动器紧固件,还包括柔顺平行四杆机构及平板弹簧;驱动器通过驱动器紧固件紧固在基座上,其输出端顶住平板弹簧的右端,平板弹簧的左端与输出平台相连;柔顺平行四杆机构与基座连成一体,还与输出平台的四个角相连;平板弹簧、基座沿输出平台的运动方向对称分布。本实用新型能在驱动器位移分辨率和定位精度较低时,通过平板弹簧将驱动器的输出位移大幅缩小并驱动输出平台实现高分辨率运动。本实用新型性价比高,定位精度达到纳米级,有很好的热稳定性,可应用于扫描隧道显微技术,磁头定位、医疗显微操作等需要精密定位的领域。

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