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公开(公告)号:CN105568250A
公开(公告)日:2016-05-11
申请号:CN201610048208.X
申请日:2016-01-22
Applicant: 华北电力大学(保定)
IPC: C23C16/24 , C23C16/02 , C23C16/513
CPC classification number: C23C16/24 , C23C16/02 , C23C16/0227 , C23C16/513
Abstract: 本发明提供一种PECVD沉积氢化纳米晶硅薄膜的制备方法,所述方法包括:样品制备步骤、样品准备步骤、抽真空步骤、通气步骤、射频发生步骤、加偏压步骤和生长步骤等。本发明通过调节脉冲偏压参数来控制纳米晶硅成核,降低了纳米晶硅薄膜中的缺陷态,形成了一种高晶化度低缺陷态的镶嵌纳米晶硅的氢化纳米晶硅薄膜。
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公开(公告)号:CN105483654A
公开(公告)日:2016-04-13
申请号:CN201610044372.3
申请日:2016-01-22
Applicant: 华北电力大学(保定)
IPC: C23C16/515 , C23C16/24
CPC classification number: C23C16/515 , C23C16/24
Abstract: 本发明提供一种用于生成纳米晶硅薄膜的装置,所述装置包括射频阴极、匹配网络、射频源、进气口、排气口、样品、下电极、绝缘支柱、热电偶测温测加热系统、脉冲偏压源、腔体、废气处理系统、总流量控制器、分子泵和机械泵。其中,腔体为金属反应腔,射频阴极、样品、下电极以及绝缘支柱设置在腔体内。进气口和出气口设置在腔体上。射频阴极与下电极相对设置,二者之间形成等离子放电区,所述样品置于等离子放电区内,脉冲偏压源为下电极提供偏压,输出电压为60-200V。本发明的用于生成纳米晶硅薄膜的装置,具有结构简单,易于操控,生长的纳米晶硅薄膜质量优良的特点。
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公开(公告)号:CN111153930A
公开(公告)日:2020-05-15
申请号:CN202010019742.4
申请日:2020-01-09
Applicant: 华北电力大学(保定)
Abstract: 本发明利用四价Sn的稳定态直接合成有机无机杂化的锡基类钙钛矿材,该发光材料的化学表达式为R2SnM6,其中R为有机胺阳离子,M为卤素I、Br或Cl。此技术以四价锡卤化物为基质材料,引入不同有机胺阳离子对其结构进行调整,并通过热注入溶液法制备锡基类钙钛矿纳米晶颗粒,可获得化学性能稳定、发光性能优异的发光材料。所制备的材料发光来源于自陷激子,呈现出宽光谱发光,改变卤素可以使发光峰位从420nm调整到650nm。在完全暴露在空气条件下,材料结构稳定性,光致发光强度,可以持续4个月以上不发生衰减。
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公开(公告)号:CN105679652A
公开(公告)日:2016-06-15
申请号:CN201610044708.6
申请日:2016-01-22
Applicant: 华北电力大学(保定)
IPC: H01L21/02 , H01L21/285 , H01L29/423 , B82Y30/00 , B82Y40/00
CPC classification number: H01L29/401 , B82Y30/00 , B82Y40/00 , H01L21/02126 , H01L21/02164 , H01L21/022 , H01L21/02274 , H01L29/42364
Abstract: 本发明提供一种制备nc-Si/SiOx薄膜MIS结构器件的方法,所述方法包括:样品制备步骤、样品准备步骤、抽真空步骤、通气步骤、射频发生步骤、加偏压步骤、薄膜生长步骤等。本发明通过加衬底负偏压控制等离子体的能量和离子流密度,增大了N2O分解的氧离子和Si结合速率同时抑制了氮粒子和Si的结合,避免和衬底上的硅活性基团生成Si-N键,减少膜中载流子陷阱的形成,从而提高薄膜的载流子输运效率。
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公开(公告)号:CN205724358U
公开(公告)日:2016-11-23
申请号:CN201620360107.1
申请日:2016-04-20
Applicant: 华北电力大学(保定)
IPC: H01S3/09 , H01S5/042 , H02M7/5387
Abstract: 一种全桥逆变电路激光器驱动电路,包括输入端,正输入端分别连接到电容C1的一端以及绝缘栅型场效应晶体管IGBT1和IGBT3的集电极,负输入端vin‑分别连接到电容C1另外一端以及绝缘栅型场效应晶体管IGBT2和IGBT4的发射极,IGBT1,IGBT2,IGBT3,IGBT4的门极分别经电阻R1,R2,R4,R5连接到微处理器MCU,IGBT3的发射极连接到电流传感器ISEN1的一端以及变压器T1初级线圈的一端,IGBT1的发射极连接到电感L3的一端,变压器T1初级线圈的另外一端以及IGBT2的集电极,电感L3的另外一端连接电流传感器ISEN1的另外一端。
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