公开(公告)号：CN109531454A

公开(公告)日：2019-03-29

申请号：CN201811518850.5

申请日：2018-12-12

Applicant: 华侨大学 ,  厦门东南新工具制造有限公司

Inventor： 胡中伟 ,  吴建明 ,  朱泽朋 ,  于怡青 ,  徐西鹏

IPC: B24D18/00

Abstract: 一种橡胶磨具的制备方法，包括以下步骤：(1)将磨粒加入到液态树脂中搅拌均匀，随后加入固化剂或加热使其固化；(2)将步骤(1)中固化后的树脂进行粉碎；使所述树脂形成具有一定直径的树脂颗粒，所述树脂颗粒含有一颗或多颗所述磨粒；(3)采用有机溶剂将橡胶弹性基体进行溶解，然后加入步骤(2)中所制备的树脂颗粒并搅拌均匀后倒入模具中，放入烘箱烘干使其固化形成磨块；(4)将固化后的磨块进行修剪、整形、粘接后制作成用于研磨和抛光的橡胶磨具。应用本发明可以解决了现有磨具加工过程中磨粒易脱落，加工工件表面损伤大的问题。

公开(公告)号：CN107511938B

公开(公告)日：2024-02-27

申请号：CN201710873808.4

申请日：2017-09-25

Applicant: 华侨大学

Inventor： 胡中伟 ,  赵欢 ,  赖志远 ,  方从富 ,  于怡青 ,  徐西鹏

IPC: B28D5/02 ,  B28D7/00

Abstract: 本发明公开了精密超声打孔机及其工具头角度调整方法。精密超声打孔机包括机架、导轨、滑块、超声振动系统、工具头、进给系统、角度调节装置和位移传感器；该角度调节装置包括X轴角度微动台和Y轴角度微动台，该超声振动系统装接在Y轴角度微动台，通过角度调节装置能调节超声振动系统的角度，能调节工具头的角度；该位移传感器装接在机架上用于检测工具头移动前后位移传感器的两次测量值之差及工具头沿导轨的进给量，依据两次测量值之差及进给量并通过角度调节装置对工具头角度进行调整。它具有如下优点：能对工具头进行精准调节，使工具头轴线与导轨平行，有效地保证了打孔精度和起到保护工具头的作用。

公开(公告)号：CN117359130A

公开(公告)日：2024-01-09

申请号：CN202311542615.2

申请日：2023-11-17

Applicant: 华侨大学

Inventor： 温秋玲 ,  胡佳鑫 ,  胡中伟 ,  黄辉 ,  杨野

IPC: B23K26/70 ,  B23K26/38 ,  B23K26/082 ,  B23K26/064

Abstract: 本发明提供了一种超声振动辅助超快激光隐形切割晶圆装置及方法，涉及精密切割技术领域。一种超声振动辅助超快激光隐形切割晶圆装置，包括：激光器、反射镜、聚焦物镜、超声振动装置以及高速三维移动平台；其中，晶片适于固定在所述超声振动装置上，所述超声振动装置设置在高速三维移动平台上以随着所述高速三维移动平台运动，所述聚焦物镜设置在所述超声振动装置上方，所述激光器适于发出的超快脉冲激光适于被所述聚焦物镜聚焦至所述超声振动装置上对晶圆进行扫描，并与所述超声振动装置配合在所述晶圆上形成若干激光改质层。通过本发明方案，大大提高了隐形切割的效率。

公开(公告)号：CN108982275B

公开(公告)日：2023-11-21

申请号：CN201811156694.2

申请日：2018-09-30

Applicant: 华侨大学

Inventor： 胡中伟 ,  王帅 ,  于怡青 ,  李论 ,  陈悦 ,  徐西鹏

IPC: G01N3/56 ,  G01N3/02

公开(公告)号：CN107537411B

公开(公告)日：2023-11-21

申请号：CN201710755511.8

申请日：2017-08-29

Applicant: 华侨大学

Inventor： 陆静 ,  徐西鹏 ,  李震 ,  于怡青 ,  王文珊 ,  胡中伟

IPC: B01J13/00

公开(公告)号：CN114754705B

公开(公告)日：2023-05-05

申请号：CN202210374730.2

申请日：2022-04-11

Applicant: 华侨大学

Inventor： 崔长彩 ,  李子清 ,  卞素标 ,  陆静 ,  胡中伟 ,  徐西鹏 ,  黄辉 ,  黄国钦

IPC: G01B11/30 ,  G01J3/45 ,  G01J3/02

Abstract: 本发明公开了垂直扫描白光干涉谱辅助穆勒矩阵椭偏测量系统和方法，垂直扫描白光干涉模块既可以辅助穆勒矩阵椭偏仪高精度调平，又可以实现衬底表面粗糙度的纳米级测量。穆勒矩阵椭偏测量模块实现衬底光学特性高精度、快速测量；数据处理模块包括表面形貌参数提取单元和光学特性参数提取单元；表面形貌参数提取单元包括所属垂直扫描白光干涉模块所采集的单帧图像和层析图像；基于单帧图像对样品台进行高精度调平，以保证椭偏测量数据精度，基于层析图像对表面形貌进行恢复和参数提取，提供对应测量点椭偏光学模型中粗糙层的初值，为椭偏参数解耦提供基础。

公开(公告)号：CN109752321B

公开(公告)日：2021-12-31

申请号：CN201910086651.X

申请日：2019-01-29

Applicant: 华侨大学

Inventor： 崔长彩 ,  杨栖凤 ,  陆静 ,  胡中伟 ,  黄辉 ,  徐西鹏

IPC: G01N21/21 ,  G01N21/88 ,  G01B11/06

Abstract: 本发明提供了一种抛光碳化硅衬底变质层厚度和光学常数椭偏检测方法，主要是提供后续椭偏数据的分析方法，包括碳化硅衬底椭偏测量、碳化硅衬底基底折射率分析、碳化硅衬底变质层光学常数分析、碳化硅衬底变质层厚度分析。其中碳化硅衬底椭偏测量部分包括测量角度的选择。碳化硅衬底基底折射率分析部分包括分析波长的选择，色散模型及参数的选择。碳化硅衬底变质层光学常数分析部分包括变质层分析过程、色散模型参数的选择。碳化硅衬底变质层厚度分析部分包括厚度分析过程。本发明不仅可以实现抛光碳化硅衬底变质层厚度的测量，同时可以获取变质层以及基底层的光学常数。该方法不仅适用抛光碳化硅衬底，也适用其他抛光衬底片表面变质层的检测。

公开(公告)号：CN112362593A

公开(公告)日：2021-02-12

申请号：CN202011296394.1

申请日：2020-11-18

Applicant: 华侨大学

Inventor： 崔长彩 ,  李子清 ,  陆静 ,  胡中伟 ,  徐西鹏 ,  黄辉 ,  黄国钦

IPC: G01N21/21

Abstract: 本发明公开了金刚石衬底随温度变化的测量方法，包括：测量室温下的金刚石衬底的椭偏光谱曲线(ψ0，Δ0)；S1，控制加热系统温度以加热金刚石衬底，预设i个加热系统温度，测量每一Ti下的金刚石衬底的椭偏光谱曲线(ψi，Δi)；S2，建立色散光学模型对光谱曲线进行分析，记录为(n0，k0)及(ni，ki)，当满足石墨化条件后，记录光学常数(ni，ki，di)；S3，绘制所有温度下的光学常数，分析变化趋势；S4，在满足石墨化条件后，结合色散光学模型，分析金刚石杂化类型的变化以及比例分布情况。它具有如下优点：测量精度高，温度变化范围宽，对折射率和温度变化灵敏，且不仅能获得光学特性的变化而且能获取金刚石衬底杂化类型。

公开(公告)号：CN110125795A

公开(公告)日：2019-08-16

申请号：CN201910542553.2

申请日：2019-06-21

Applicant: 华侨大学

Inventor： 胡中伟 ,  林琳 ,  赖志远 ,  于怡青 ,  徐西鹏

IPC: B24B37/28

Abstract: 本发明提供了一种新型超薄涂层游星轮夹具及其制作方法，所述游星轮夹具的上表面及下表面均设置有涂层，所述游星轮夹具沿周向设置有多个锯齿；所述游星轮夹具上开设有若干个装载孔，用于放置超薄工件；所述工件的厚度大于所述游星轮夹具的厚度。应用本技术方案可实现提供游星轮夹具的刚度和强度，减小游星轮夹具的变形风险，提高游星轮夹具的使用寿命。

公开(公告)号：CN105798763B

公开(公告)日：2018-11-27

申请号：CN201610255475.4

申请日：2016-04-22

Applicant: 华侨大学

Inventor： 徐西鹏 ,  胡中伟 ,  郭桦

IPC: B24B37/00 ,  B24B39/00 ,  B24B41/00

Abstract: 本发明公开了用于双面磨抛加工的上下料机构，包括机架、磨抛机构、输送机构、载物盘、从驱动器和主驱动器。磨抛机构包括两磨盘。载物盘包括外圈、太阳轮和行星轮，行星轮处设用于安装工件的安装孔，外圈设外轮齿。输送机构包括两输送线，至少三个载物盘的外圈间隔连接在两输送线之间，外圈外轮齿啮合两输送线。从驱动器带动输送线活动，通过输送线活动带动外圈滚动行走；行程开关配合载物盘以用于检测某一载物盘是否行走至磨抛位，位于磨抛位的该一载物盘的行星轮介于两磨盘之间，主驱动器传动连接位于磨抛位的该一载物盘的太阳轮。当机床在进行磨抛加工的同时实现上料和下料操作，减少上、下料时间，提高机床使用率，提高生产效率。