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公开(公告)号：CN214960249U
公开(公告)日：2021-11-30
申请号：CN202121088390.4
申请日：2021-05-20
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本实用新型提供了带有等离子体屏蔽罩的等离子体设备，电极阻挡介质沿着轴向的上端和下端分别连通气体入口和等离子体出口；高压电极沿着径向位于电极阻挡介质的侧壁外；外层保护罩沿着径向罩设在电极阻挡介质和高压电极外，并且外层保护罩沿着电极阻挡介质轴向的上端为开口面，下端设置有与等离子体出口对应的让位开口，以及沿着径向设置在让位开口外的环形封闭面；外层保护罩的外侧壁设置有与等离子体屏蔽罩连接的连接件；屏蔽罩主体沿着电极阻挡介质轴向上，在不同的高度设置有第一窗口和第二窗口，用于测量等离子体参数的测量窗口或气体出口；屏蔽罩主体沿着电极阻挡介质轴向的下端与待处理目标接触。
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