公开(公告)号：CN117110290A

公开(公告)日：2023-11-24

申请号：CN202310732581.7

申请日：2023-06-20

Applicant: 华侨大学

Inventor： 崔长彩 ,  王明鑫 ,  黄辉 ,  黄国钦 ,  徐西鹏

IPC: G01N21/88 ,  G01N21/01 ,  G01B11/24

Abstract: 本发明公开了一种明暗场和白光干涉的缺陷检测系统和检测方法，该系统包括明暗场缺陷检测模块、白光干涉缺陷检测模块、传输模块和上位机模块。明暗场缺陷检测模块包括明场成像和暗场成像，通过逐点扫描实现图案化蓝宝石衬底的全局缺陷检出；根据明暗场缺陷检测模块的缺陷检出以及传输模块的缺陷定位，白光干涉缺陷检测模块实现缺陷的高精度定量检测。上位机模块包括传输模块的控制、图像采集控制以及图像数据处理模块，其图像数据处理模块包括明场图像和暗场图像的缺陷位置提取和白光干涉模块的缺陷三维形貌恢复；传输模块包括明暗场缺陷检测模块的逐点扫描检测提供位移和缺陷的定位。它不仅解决图案化蓝宝石衬底大范围缺陷检测而且能实现缺陷的三维形貌高精度测量。

公开(公告)号：CN220271181U

公开(公告)日：2023-12-29

申请号：CN202321576457.8

申请日：2023-06-20

Applicant: 华侨大学

Inventor： 崔长彩 ,  王明鑫 ,  黄辉 ,  黄国钦 ,  徐西鹏

IPC: G01N21/88 ,  G01N21/01 ,  G01B11/24

Abstract: 本实用新型公开了一种明暗场和白光干涉的缺陷检测系统，包括明暗场缺陷检测模块、白光干涉缺陷检测模块、传输模块和上位机模块。明暗场缺陷检测模块包括明场成像和暗场成像，通过逐点扫描实现图案化蓝宝石衬底的全局缺陷检出；根据明暗场缺陷检测模块的缺陷检出以及传输模块的缺陷定位，白光干涉缺陷检测模块实现缺陷的高精度定量检测。上位机模块包括传输模块的控制、图像采集控制以及图像数据处理模块，其图像数据处理模块包括明场图像和暗场图像的缺陷位置提取和白光干涉模块的缺陷三维形貌恢复；传输模块包括明暗场缺陷检测模块的逐点扫描检测提供位移和缺陷的定位。它不仅解决图案化蓝宝石衬底大范围缺陷检测而且能实现缺陷的三维形貌高精度测量。