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公开(公告)号：CN1282598C
公开(公告)日：2006-11-01
申请号：CN200510018470.1
申请日：2005-03-29
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种MEMS圆片或器件的动态测试加载装置，该装置的结构为：透光片置于腔体的开口端面上，与腔体构成密封腔，在腔体上装有电极，开有充气口、抽真空口和真空计接口，支架固定在腔体的底座上，调节螺钉装在支架的底座内，压电陶瓷置于支架内，其下端与调节螺钉相接，上端与支架相接，支承板固定在支架上，圆片压条与支承板相固定。该装置通过压电陶瓷可以得到精确的振动频率和振幅，能够实现频率和振幅在相对较大的范围内变化，而且便于控制，可为MEMS圆片或器件测试时，提供不同的真空度，不同的温度和不同的振动状态环境。
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公开(公告)号：CN1696604A
公开(公告)日：2005-11-16
申请号：CN200510018927.9
申请日：2005-06-16
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种具有环境加载功能的微机电系统动态特性测量装置，在调整平台上设置有环境加载装置，其结构为：压电陶瓷可调节式安装于支架内，支承板固定在支架上；加热板固定在支承板上，支架固定在真空腔体上，真空腔体上设置有透光片；被测器件位于环境加载装置上。本发明采用光路转折、聚焦透镜平移使得测量装置结构紧凑，便于调整；利用环境加载装置对振动、温度、和压力进行精确控制，使得测量装置能测量不同环境条件下的微机电系统动态特性。测量装置所采用的微视觉、相移干涉、频闪照明和环境加载可以完成不同环境条件下的微机电系统器件或圆片的三维高分辨率测量、静动态参数提取。
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公开(公告)号：CN1666952A
公开(公告)日：2005-09-14
申请号：CN200510018470.1
申请日：2005-03-29
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种MEMS圆片或器件的动态测试加载装置，该装置的结构为：透光片置于腔体的开口端面上，与腔体构成密封腔，在腔体上装有电极，开有充气口、抽真空口和真空计接口，支架固定在腔体的底座上，调节螺钉装在支架的底座内，压电陶瓷置于支架内，其下端与调节螺钉相接，上端与支架相接，支承板固定在支架上，圆片压条与支承板相固定。该装置通过压电陶瓷可以得到精确的振动频率和振幅，能够实现频率和振幅在相对较大的范围内变化，而且便于控制，可为MEMS圆片或器件测试时，提供不同的真空度，不同的温度和不同的振动状态环境。
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公开(公告)号：CN1312459C
公开(公告)日：2007-04-25
申请号：CN200510018927.9
申请日：2005-06-16
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种具有环境加载功能的微机电系统动态特性测量装置，在调整平台上设置有环境加载装置，其结构为：压电陶瓷可调节式安装于支架内，支承板固定在支架上；加热板固定在支承板上，支架固定在真空腔体上，真空腔体上设置有透光片；被测器件位于环境加载装置上。本发明采用光路转折、聚焦透镜平移使得测量装置结构紧凑，便于调整；利用环境加载装置对振动、温度、和压力进行精确控制，使得测量装置能测量不同环境条件下的微机电系统动态特性。测量装置所采用的微视觉、相移干涉、频闪照明和环境加载可以完成不同环境条件下的微机电系统器件或圆片的三维高分辨率测量、静动态参数提取。
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公开(公告)号：CN2613471Y
公开(公告)日：2004-04-28
申请号：CN03241230.4
申请日：2003-04-11
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 微机电系统动态特性三维测量装置，属于精密测量领域，解决微机电系统高频高速运动的全三维可视化测量，提高测量精度和效率，该装置由控制部分和执行部分组成，执行部分包括激光二极管、CCD相机、透射反射分光镜、垂直物镜、左侧和右侧水平物镜、遮光闸、参考平面镜及压电步进电机；控制部分由计算机通过电信号分别与信号发生器、并行接口、串行接口、数据采集卡连接，它们再分别电信号连接相应的压电激振台驱动器、延时发生器、脉冲电源、压电步进电机驱动器。本装置可实现MEMS器件表面三维形貌垂向运动及平面内运动的全三维可视化测量，测量频率200KHz，垂向运动测量精度5nm，平面内运动测量精度10nm。
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