一种基于薄膜铌酸锂光波导的宽带光子滤波器

    公开(公告)号:CN119667978A

    公开(公告)日:2025-03-21

    申请号:CN202411953457.4

    申请日:2024-12-27

    Abstract: 本发明公开了一种基于薄膜铌酸锂光波导的宽带光子滤波器,属于集成光电子技术领域。该宽带光子滤波器包括绝热滤波器、多模连接波导、宽带模式转换器,其中绝热滤波器和宽带模式转换器均为非对称定向耦合器结构。绝热滤波器将输入的TE基模波长选择性的转化为高阶TM模,其余TE基模从直通端输出。高阶TM模经多模连接波导进入宽带模式转换器,并全部转换为TE基模,并从交叉端输出。本发明创新性地将常见于模分复用的非对称定向耦合器结构用作光学滤波功能,结构简单。其基于模式绝热演化原理,适合应用于宽带光学滤波操作,且具有易于设计和加工、低损耗等的优点。

    一种基于周期性相移光栅的薄膜铌酸锂滤波器及相应的膜厚自适应方法

    公开(公告)号:CN118915228A

    公开(公告)日:2024-11-08

    申请号:CN202410929159.5

    申请日:2024-07-11

    Abstract: 本发明属于集成光电子技术领域,公开了一种基于周期性相移光栅的薄膜铌酸锂滤波器及相应的膜厚自适应方法,该器件的铌酸锂薄膜层包括总线连接波导、模式转换器、过渡波导、周期性相移光栅反射器、直通过渡波导、直通连接波导和分支波导;周期性相移光栅反射器由矩形波导以及位于两侧的具有不等宽度的矩形光栅齿突起和矩形光栅齿槽凹陷构成;分布在矩形波导任意一侧的光栅齿每相隔距离L,对应的光栅齿其宽度将发生变化,其它光栅齿的宽度保持不变,由此形成相移。本发明通过对滤波器的细节结构进行改进,能够有效解决电子束曝光设备分辨率受限的情况下,光栅中心反射波长难以精细调控以及窄通道间距波分复用器实际制作难度大的技术问题。

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