公开(公告)号：CN101082492A

公开(公告)日：2007-12-05

申请号：CN200710052607.4

申请日：2007-06-29

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 刘胜 ,  甘志银 ,  罗小兵 ,  艾叶

IPC: G01C19/58

Abstract: 本发明公开了一种磁流体检测原理的微型陀螺仪，由驱动层、结构层和检测层三者键合而成。驱动层上包含两个微型电加热器，分别位于结构层上对应的封闭腔体中，两封闭腔体分别与结构层上的微流通道和分流通道相连，并被导电流体隔断，两微型电加热器交替加热封闭腔体中的气体，导致两封闭腔体的压力交替增大，实现导电流体在微流通道和分流通道之间周期往复运动，两对称布置的分流通道流量差包含角速度信息，通过磁流体原理检测两分流通道流量差，从而获得角速度信息。本发明结构简单，不存在活动和振动部件，寿命长，灵敏度和分辨率高，采用微加工技术工艺简单，成本低廉，适合大批量生产，具有可观的应用前景。

公开(公告)号：CN101082492B

公开(公告)日：2010-12-01

申请号：CN200710052607.4

申请日：2007-06-29

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 刘胜 ,  甘志银 ,  罗小兵 ,  艾叶

IPC: G01C19/58

Abstract: 本发明公开了一种磁流体检测原理的微型陀螺仪，由驱动层、结构层和检测层三者键合而成。驱动层上包含两个微型电加热器，分别位于结构层上对应的封闭腔体中，两封闭腔体分别与结构层上的微流通道和分流通道相连，并被导电流体隔断，两微型电加热器交替加热封闭腔体中的气体，导致两封闭腔体的压力交替增大，实现导电流体在微流通道和分流通道之间周期往复运动，两对称布置的分流通道流量差包含角速度信息，通过磁流体原理检测两分流通道流量差，从而获得角速度信息。本发明结构简单，不存在活动和振动部件，寿命长，灵敏度和分辨率高，采用微加工技术工艺简单，成本低廉，适合大批量生产，具有可观的应用前景。

公开(公告)号：CN201053874Y

公开(公告)日：2008-04-30

申请号：CN200720085639.X

申请日：2007-06-29

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 刘胜 ,  甘志银 ,  罗小兵 ,  艾叶

IPC: G01C19/58

Abstract: 本实用新型公开了一种磁流体检测原理的微型陀螺仪，由驱动层、结构层和检测层三者键合而成。驱动层上包含两个微型电加热器，分别位于结构层上对应的封闭腔体中，两封闭腔体分别与结构层上的微流通道和分流通道相连，并被导电流体隔断，两微型电加热器交替加热封闭腔体中的气体，导致两封闭腔体的压力交替增大，实现导电流体在微流通道和分流通道之间周期往复运动，两对称布置的分流通道流量差包含角速度信息，通过磁流体原理检测两分流通道流量差，从而获得角速度信息。本实用新型结构简单，不存在活动和振动部件，寿命长，灵敏度和分辨率高，采用微加工技术工艺简单，成本低廉，适合大批量生产，具有可观的应用前景。