公开(公告)号：CN116345288A

公开(公告)日：2023-06-27

申请号：CN202310337945.1

申请日：2023-03-31

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 李玉洁 ,  王修正 ,  唐霞辉 ,  彭浩 ,  刘彦 ,  胡冲 ,  郑毅 ,  梁琦

IPC: H01S3/13 ,  H01S3/00 ,  H01S3/10 ,  H01L21/268 ,  H01L21/324 ,  G02B27/09

Abstract: 本发明公开了一种用于晶圆退火的CO2激光自适应菲涅尔匀化装置及方法，属于集成电路晶圆退火领域。装置包括频板条CO2激光器、光场传感器、温度传感器、聚焦镜、反射镜、衍射元件、第一柱面聚焦镜、可调式菲涅尔棱镜、分光镜、第二柱面聚焦镜、半导体激光器。通过光场传感器实时监测菲涅尔棱镜匀化后的光束均匀度，调节可调式菲涅尔棱镜，能够提高激光的均匀性，提高晶圆退火质量增加退火的成功率。并通过温度传感器检测晶圆退火时表面温度场，将信息传至上位机，结合光场分布，对射频板条CO2激光器的功率进行实时调控，保证晶圆激光退火成功率。

公开(公告)号：CN118589278A

公开(公告)日：2024-09-03

申请号：CN202410602961.3

申请日：2024-05-15

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 刘彦 ,  胡冲 ,  李玉洁 ,  彭浩 ,  唐霞辉 ,  胡耀丹 ,  王平 ,  王辉鹏 ,  赵子豪 ,  郑毅

IPC: H01S3/03 ,  G02B27/09 ,  G02B27/10 ,  G02B27/14 ,  H01S3/034 ,  H01S3/08 ,  H01S3/223 ,  H01S5/40 ,  H01S5/06 ,  H01S3/00

Abstract: 本发明公开了一种射频板条CO2激光器腔镜自适应调节装置、激光器，属于射频板条CO2激光器领域，包括自适应调节机构、输出光光束整形系统和输出光束检测反馈系统，自适应调节机构包括对称设置的两个蓝光半导体激光器阵列；两个蓝光半导体激光器阵列分别设置于激光器两个腔镜背侧；输出光光束整形系统使部分输出光束反射至光束检测反馈系统；输出光束检测反馈系统将输出光束的光信号转换为电信号，根据电信号计算并向蓝光半导体激光器阵列发出调控信号以控制蓝光半导体激光器阵列的输出功率，并对第一腔镜、第二腔镜施加反形变的热量。本发明使用蓝光半导体激光作为激光器腔镜形变热补偿的热源，从而能实现较高的热补偿效率，能够及时补偿腔镜形变。