公开(公告)号：CN108971747B

公开(公告)日：2020-07-28

申请号：CN201810995083.0

申请日：2018-08-29

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 熊伟 ,  王锐青 ,  王帆 ,  曾晓雁 ,  郭连波 ,  陆永枫 ,  陶宇峰 ,  刘欢 ,  焦玢璋 ,  周琳琳

IPC: B23K26/0622 ,  B23K26/70 ,  B23K26/064

Abstract: 本发明属于超快激光微纳加工领域，公开了一种具备在线监测功能的超快激光微纳加工装置。其包括激光器、第二二向色镜、显微镜、载物平台和成像光谱仪，激光器用于输出两路波长不同的脉冲激光，第一路脉冲激光被分为第一光束和第二光束，其中第一光束进行激光微纳加工；第二光束与第二路脉冲激光合并后用于光谱成像，同时与第一光束合并。合并后的光束经过第二二向色镜后聚集于待加工对象上，以此进行协同激光微纳加工与光谱与成像实时监测。后向采集待加工对象发生的后向相干反斯托克斯拉曼散射等非线性光信号，拟采用成像光谱仪接收，以此实现加工过程中的实时监测。通过本发明，实现具备非线性成像与光谱在线监测功能的超快激光微纳加工。

公开(公告)号：CN108971747A

公开(公告)日：2018-12-11

申请号：CN201810995083.0

申请日：2018-08-29

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 熊伟 ,  王锐青 ,  王帆 ,  曾晓雁 ,  郭连波 ,  陆永枫 ,  陶宇峰 ,  刘欢 ,  焦玢璋 ,  周琳琳

IPC: B23K26/00 ,  B23K26/70

CPC classification number: B23K26/00 ,  B23K26/702

Abstract: 本发明属于超快激光微纳加工领域，公开了一种具备在线监测功能的超快激光微纳加工装置。其包括激光器、二向色镜、显微镜、载物平台和成像光谱仪，激光器用于输出两路波长不同的脉冲激光，第一路脉冲激光被分为第一光束和第二光束，其中第一光束进行激光微纳加工；第二光束与第二路脉冲激光合并后用于光谱成像，同时与第一光束合并。合并后的光束经过显微镜二向色镜后聚集于待加工对象上，以此进行协同激光微纳加工与光谱与成像实时监测。后向采集待加工对象发生的后向相干反斯托克斯拉曼散射等非线性光信号，拟采用成像光谱仪接收，以此实现加工过程中的实时监测。通过本发明，实现具备非线性成像与光谱在线监测功能的超快激光微纳加工。

公开(公告)号：CN108563101A

公开(公告)日：2018-09-21

申请号：CN201810510764.3

申请日：2018-05-24

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 熊伟 ,  陶宇峰 ,  王锐青 ,  蔡颂 ,  王帆 ,  曾晓雁 ,  陆永枫

IPC: G03F7/027 ,  G03F7/004

Abstract: 本发明属于光刻胶及激光直写技术领域，并公开了一种光刻胶、微纳温湿敏感智能器件及其制备方法，该光刻胶包括温敏单体、亲水性丙烯酸酯、阳离子型光引发剂和溶剂，温敏单体与亲水丙烯酸酯的摩尔比为(0.5～5):1，每毫升的温敏单体与亲水丙烯酸酯的混合液中含有0.6-2mg的阳离子型光引发剂，温敏单体、亲水性丙烯酸酯和阳离子型光引发剂的体积总量与溶剂的体积比为10:(0.5～3)，所述微纳温湿敏感智能器件由上述光刻胶制备。本发明制备的光刻胶具有亲水亲醇性，制备的智能器件具有温湿敏特性，具有制备工艺简单，操作便利等优点。