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公开(公告)号：CN113281265B
公开(公告)日：2022-05-20
申请号：CN202110601198.9
申请日：2021-05-31
Applicant: 华中科技大学 , 上海精测半导体技术有限公司
Abstract: 本发明属于激光超声检测相关技术领域，并具体公开了一种适用于宽膜厚范围样品的激光超声测量系统及方法。该系统包括脉冲激光器、泵浦探测单元、脉宽调整器、探测器和工控机，其中：泵浦探测单元中的分束器将脉冲激光分为激发光光束和探测光光束；激发光经过脉宽调整器照射在待测样品表面并激发出超声信号，在样品中传播产生回声信号；与激发光存在延时的探测光自样品反射后被探测器接收；工控机接收探测器转换的电信号并提取回声信号，当该回声信号的强度小于预设阈值时，调整脉宽调整器为脉冲展宽状态；当该回声信号的强度大于或等于预设阈值时，保持脉宽调整器为压缩状态。通过本发明，增大激光超声测量技术所适用的样品的膜厚范围。
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公开(公告)号：CN113607068B
公开(公告)日：2022-08-05
申请号：CN202110814894.8
申请日：2021-07-19
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种光声测量信号特征的识别模型建立方法及提取方法，属于信号处理领域，包括：获得测量自不同种类的固体样品的多组一维时序光声测量信号，并标注出每组信号中的各特征信号所在的时域区间和类型，得到多个样本；将U‑Net模型中所有的卷积层、最大池化层和上采样均修改为1D形式，以建立一维U‑Net神经网络模型，用于预测一维时序光声测量信号中各类特征信号的时域分布概率曲线；将所有的样本划分为训练集、验证集和测试集，对一维U‑Net神经网络模型进行训练、验证和测试后，得到光声测量信号特征的识别模型。本发明能够有效解决现有的一维时序光声测量信号特征识别与提取方法的鲁棒性差、准确度低、无法区分不同膜层回声信号的技术问题。
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公开(公告)号：CN113607068A
公开(公告)日：2021-11-05
申请号：CN202110814894.8
申请日：2021-07-19
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种光声测量信号特征的识别模型建立方法及提取方法，属于信号处理领域，包括：获得测量自不同种类的固体样品的多组一维时序光声测量信号，并标注出每组信号中的各特征信号所在的时域区间和类型，得到多个样本；将U‑Net模型中所有的卷积层、最大池化层和上采样均修改为1D形式，以建立一维U‑Net神经网络模型，用于预测一维时序光声测量信号中各类特征信号的时域分布概率曲线；将所有的样本划分为训练集、验证集和测试集，对一维U‑Net神经网络模型进行训练、验证和测试后，得到光声测量信号特征的识别模型。本发明能够有效解决现有的一维时序光声测量信号特征识别与提取方法的鲁棒性差、准确度低、无法区分不同膜层回声信号的技术问题。
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公开(公告)号：CN113281265A
公开(公告)日：2021-08-20
申请号：CN202110601198.9
申请日：2021-05-31
Applicant: 华中科技大学 , 上海精测半导体技术有限公司
Abstract: 本发明属于激光超声检测相关技术领域，并具体公开了一种适用于宽膜厚范围样品的激光超声测量系统及方法。该系统包括脉冲激光器、泵浦探测单元、脉宽调整器、探测器和工控机，其中：泵浦探测单元中的分束器将脉冲激光分为激发光光束和探测光光束；激发光经过脉宽调整器照射在待测样品表面并激发出超声信号，在样品中传播产生回声信号；与激发光存在延时的探测光自样品反射后被探测器接收；工控机接收探测器转换的电信号并提取回声信号，当该回声信号的强度小于预设阈值时，调整脉宽调整器为脉冲展宽状态；当该回声信号的强度大于或等于预设阈值时，保持脉宽调整器为压缩状态。通过本发明，增大激光超声测量技术所适用的样品的膜厚范围。
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