一种三维激光加工工件定位测量装置及其方法

    公开(公告)号:CN103878478B

    公开(公告)日:2015-11-18

    申请号:CN201410042191.8

    申请日:2014-01-28

    Abstract: 本发明公开了一种基于多轴联动数控机床的三维激光加工定位测量装置及方法,它包括CCD检测系统、运动控制系统和显示系统;激光加工头安装于五轴联动数控机床末端,CCD检测系统随激光加工头安装于五轴联动数控机床末端,CCD检测系统包括CCD传感器、工业显微镜头和指示系统,CCD传感器和指示系统均安装在工业显微镜头上。本发明通过移动多轴联动数控机床各运动轴来调整安装在激光加工头上的CCD测量装置的空间位置和姿态,实现对工件定位点的精确定位观测,从而获取到相应定位点在机床坐标系的空间坐标。本发明具有测量单元模块化、易拆装,测量精度高的优点,可以满足激光加工中对大尺寸工件的高精度定位测量要求。

    一种三维激光加工工件定位测量装置及其方法

    公开(公告)号:CN103878478A

    公开(公告)日:2014-06-25

    申请号:CN201410042191.8

    申请日:2014-01-28

    CPC classification number: B23K26/032

    Abstract: 本发明公开了一种基于多轴联动数控机床的三维激光加工定位测量装置及方法,它包括CCD检测系统、运动控制系统和显示系统;激光加工头安装于五轴联动数控机床末端,CCD检测系统随激光加工头安装于五轴联动数控机床末端,CCD检测系统包括CCD传感器、工业显微镜头和指示系统,CCD传感器和指示系统均安装在工业显微镜头上。本发明通过移动多轴联动数控机床各运动轴来调整安装在激光加工头上的CCD测量装置的空间位置和姿态,实现对工件定位点的精确定位观测,从而获取到相应定位点在机床坐标系的空间坐标。本发明具有测量单元模块化、易拆装,测量精度高的优点,可以满足激光加工中对大尺寸工件的高精度定位测量要求。

    一种变线宽激光振镜扫描快速刻蚀方法及装置

    公开(公告)号:CN103801838A

    公开(公告)日:2014-05-21

    申请号:CN201410041778.7

    申请日:2014-01-28

    CPC classification number: B23K26/361 B23K26/046 B23K26/0643 B23K26/0648

    Abstract: 本发明公开了一种变线宽激光振镜扫描快速刻蚀方法及装置,本发明利用激光束离焦后功率密度梯度变小光斑变大的原理以及高速振镜扫描误差精确矫正方法,通过设置不同的在焦和离焦激光加工距离及对应功率参数和激光振镜扫描参数来控制激光光斑大小,对图形填充区采用离焦后的大光斑光栅扫描填充,然后对图形轮廓进行矢量扫描勾勒。本发明针对不同的工作距离预先进行振镜扫描误差矫正,生成高精度振镜扫描定位表,确保在不同激光加工距离获得同等高精度的振镜扫描定位效果。本发明能实现不同粗细线宽图形的快速精密刻蚀,兼顾了刻蚀精度和加工速度,可广泛应用于平面刻蚀系统和三维激光刻蚀系统,提高装备的加工效率。

    一种变线宽激光振镜扫描快速刻蚀方法

    公开(公告)号:CN103801838B

    公开(公告)日:2016-01-20

    申请号:CN201410041778.7

    申请日:2014-01-28

    Abstract: 本发明公开了一种变线宽激光振镜扫描快速刻蚀方法,本发明利用激光束离焦后功率密度梯度变小光斑变大的原理以及高速振镜扫描误差精确矫正方法,通过设置不同的在焦和离焦激光加工距离及对应功率参数和激光振镜扫描参数来控制激光光斑大小,对图形填充区采用离焦后的大光斑光栅扫描填充,然后对图形轮廓进行矢量扫描勾勒。本发明针对不同的工作距离预先进行振镜扫描误差矫正,生成高精度振镜扫描定位表,确保在不同激光加工距离获得同等高精度的振镜扫描定位效果。本发明能实现不同粗细线宽图形的快速精密刻蚀,兼顾了刻蚀精度和加工速度,可广泛应用于平面刻蚀系统和三维激光刻蚀系统,提高装备的加工效率。

    一种三维激光加工工件定位测量装置

    公开(公告)号:CN203791832U

    公开(公告)日:2014-08-27

    申请号:CN201420055434.7

    申请日:2014-01-28

    Abstract: 本实用新型公开了一种三维激光加工工件定位测量装置,它包括CCD检测系统、运动控制系统和显示系统;激光加工头安装于五轴联动数控机床末端,CCD检测系统随激光加工头安装于五轴联动数控机床末端,CCD检测系统包括CCD传感器、工业显微镜头和指示系统,CCD传感器和指示系统均安装在工业显微镜头上。本实用新型通过移动多轴联动数控机床各运动轴来调整安装在激光加工头上的CCD测量装置的空间位置和姿态,实现对工件定位点的精确定位观测,从而获取到相应定位点在机床坐标系的空间坐标。本实用新型具有测量单元模块化、易拆装,测量精度高的优点,可以满足激光加工中对大尺寸工件的高精度定位测量要求。

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