ZnO陶瓷薄膜的制备方法
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1271644C

    公开(公告)日:2006-08-23

    申请号:CN200410013448.3

    申请日:2004-07-10

    Abstract: 本发明公开了一种ZnO陶瓷薄膜的制备方法,包括:采用传统的溶胶-凝胶法制备ZnO溶胶,取上述60~80%的溶胶烘干后,升温至550℃~650℃,使有机物分解,得到ZnO晶体,再碾磨制备成ZnO纳米粉体,其粒径在30nm~70nm;在上述ZnO粉体中加入分散剂,分散剂的质量为ZnO粉体的1~4%,经混合后,加入到剩余的溶胶中;在载体上采用通常的方法制备所需厚度的薄膜,薄膜的退火温度为500℃~850℃。通过该方法可制备从2000nm~5000nm的薄膜,该薄膜无裂纹、致密型好、晶粒分布较均匀。

    ZnO陶瓷薄膜低压压敏电阻的制备方法

    公开(公告)号:CN1595551A

    公开(公告)日:2005-03-16

    申请号:CN200410013447.9

    申请日:2004-07-10

    Abstract: 本发明公开了一种ZnO陶瓷薄膜低压压敏电阻的制备方法,包括:在ZnO溶胶中,掺杂铋离子Bi3+、锑离子Sb3+、锰离子Mn2+、铬离子Cr3+和钴离子Co3+,其摩尔比为:Zn2+∶Bi3+∶Sb3+∶Mn2+∶Cr3+∶Co3+=100∶(0.6~1.4)∶(1.6~3.0)∶(0.2~1.0)∶(0.5~3.0)∶(1.0~3.0);取上述60~80%的溶胶烘干后,升温至550℃~650℃,使有机物分解,得到ZnO晶体,再碾磨制备成ZnO纳米粉体,其粒径在30nm~70nm;在上述ZnO粉体中加入分散剂,经混合后,加入到剩余的溶胶中;在单晶硅基片上,制备ZnO陶瓷薄膜低压压敏电阻。本发明制备的ZnO低压压敏电阻具有优良电性能,其压敏电压低于4V,非线性系数可达22,漏电流密度小于0.4μA/mm2。

    ZnO陶瓷薄膜低压压敏电阻的制备方法

    公开(公告)号:CN100394517C

    公开(公告)日:2008-06-11

    申请号:CN200410013447.9

    申请日:2004-07-10

    Abstract: 本发明公开了一种ZnO陶瓷薄膜低压压敏电阻的制备方法,包括:在ZnO溶胶中,掺杂铋离子Bi3+、锑离子Sb3+、锰离子Mn2+、铬离子Cr3+和钴离子Co3+,其摩尔比为:Zn2+∶Bi3+∶Sb3+∶Mn2+∶Cr3+∶Co3+=100∶(0.6~1.4)∶(1.6~3.0)∶(0.2~1.0)∶(0.5~3.0)∶(1.0~3.0);取上述溶胶的60~80%烘干后,升温至550℃~650℃,使有机物分解,得到ZnO晶体,再碾磨制备成ZnO纳米粉体,其粒径在30nm~70nm;在上述ZnO粉体中加入分散剂,经混合后,加入到剩余的溶胶中;在单晶硅基片上,制备ZnO陶瓷薄膜低压压敏电阻。本发明制备的ZnO低压压敏电阻具有优良电性能,其压敏电压低于4V,非线性系数可达22,漏电流密度小于0.4μA/mm2。

    ZnO陶瓷薄膜的制备方法
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1594202A

    公开(公告)日:2005-03-16

    申请号:CN200410013448.3

    申请日:2004-07-10

    Abstract: 本发明公开了一种ZnO陶瓷薄膜的制备方法,包括:采用传统的溶胶-凝胶法制备ZnO溶胶,取上述60~80%的溶胶烘干后,升温至550℃~650℃,使有机物分解,得到ZnO晶体,再碾磨制备成ZnO纳米粉体,其粒径在30nm~70nm;在上述ZnO粉体中加入分散剂,经混合后,加入到剩余的溶胶中;在载体上采用通常的方法制备所需厚度的薄膜,薄膜的退火温度为500℃~850℃。通过该方法可制备从2000nm~5000nm的薄膜,该薄膜无裂纹、致密型好、晶粒分布较均匀。

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