公开(公告)号：CN114744000A

公开(公告)日：2022-07-12

申请号：CN202210218412.7

申请日：2022-03-04

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 孙博 ,  孔令贤 ,  苏奇 ,  李广亮 ,  史铁林 ,  廖广兰 ,  张许宁 ,  刘智勇

IPC: H01L27/146 ,  C23C28/00

Abstract: 本发明涉及基于微喷印硫化钼薄膜的仿视网膜光探测器件及制备方法，属于微纳制造与光电子器件相关技术领域。制备方法包括：(1)在刚性衬底表面沉积剥离层，在剥离层表面涂敷柔性基底；(2)在柔性基底表面沉积绝缘层，通过光刻方法在绝缘层上制得金属电极阵列；(3)通过微喷印将原子级厚度硫化钼复合薄膜喷涂于金属电极沟道之间；(4)对柔性器件阵列进行剪裁，将其从刚性衬底上剥离后与球形衬底表面拼接，得到球形的硫化钼光探测器件。本发明采用微喷印的方法将硫化钼复合薄膜转移到各像元处，具有薄膜涂覆均匀，像元质量高、节约材料、工艺简单、成本低等明显优势。

公开(公告)号：CN119492718A

公开(公告)日：2025-02-21

申请号：CN202411631210.0

申请日：2024-11-15

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 龙胡 ,  李广亮 ,  史铁林 ,  王东平 ,  张航

IPC: G01N21/64 ,  G01N21/01

Abstract: 本发明属于气体传感器相关技术领域，其公开了一种抗串扰荧光阵列多组分气体传感芯片及其制备方法与应用，所述传感芯片包括硅基底、并排设置在所述硅基底的凹槽内的硅基光探测器阵列及硅基OLED、依次设置在所述硅基光探测器阵列上的绝缘层、光学滤波超表面及微通道阵列、以及设置在所述硅基底上的封装光学反射器，所述绝缘层、所述光学滤波超表面及所述微通道阵列收容于所述封装光学反射器内；所述微通道阵列内填充有多种荧光染料。本发明能够有效过滤掉发射源的干扰信号及避免不同荧光信号之间的串扰，从而实现对多组分气体的高精度检测。