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公开(公告)号：CN100515776C
公开(公告)日：2009-07-22
申请号：CN200710053288.9
申请日：2007-09-20
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开一种基于碳纳米管微气泡发生器的喷印阀及其制备方法。喷印阀由制作有碳纳米管微气泡发生器的玻璃衬底或硅衬底和经微加工的硅基底键合而成。碳纳米管、二个金电极以及二氧化硅层构成碳纳米管微气泡发生器；碳纳米管架设于金电极之间；碳纳米管与金电极的接触部位覆盖二氧化硅层；硅基底上开有通孔作为进液管，在硅基底的表面开有与进液管相连的凹槽；衬底与硅基底键合，使碳纳米管微气泡发生器与凹槽的位置相对，形成喷嘴。其制备方法是在衬底上制作碳纳米管微气泡发生器，在硅基底上制作进液管和凹槽，再将二者键合即可。本发明克服了传统微气泡发生器功耗大的缺点，并具有良好的高密度集成的潜力，在先进制造领域具有广泛的应用前景。
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公开(公告)号：CN101130300A
公开(公告)日：2008-02-27
申请号：CN200710053288.9
申请日：2007-09-20
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开一种基于碳纳米管微气泡发生器的喷印阀及其制备方法。喷印阀由制作有碳纳米管微气泡发生器的玻璃衬底或硅衬底和经微加工的硅基底键合而成。碳纳米管、二个金电极以及二氧化硅层构成碳纳米管微气泡发生器；碳纳米管架设于金电极之间；碳纳米管与金电极的接触部位覆盖二氧化硅层；硅基底上开有通孔作为进液管，在硅基底的表面开有与进液管相连的凹槽；衬底与硅基底键合，使碳纳米管微气泡发生器与凹槽的位置相对，形成喷嘴。其制备方法是在衬底上制作碳纳米管微气泡发生器，在硅基底上制作进液管和凹槽，再将二者键合即可。本发明克服了传统微气泡发生器功耗大的缺点，并具有良好的高密度集成的潜力，在先进制造领域具有广泛的应用前景。
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公开(公告)号：CN201089245Y
公开(公告)日：2008-07-23
申请号：CN200720087377.0
申请日：2007-09-29
Applicant: 华中科技大学
IPC: B41J2/14
Abstract: 本实用新型公开一种基于碳纳米管微气泡发生器的喷印阀。喷印阀由制作有碳纳米管微气泡发生器的玻璃衬底或硅衬底和经微加工的硅基底键合而成。碳纳米管、二个金电极以及二氧化硅层构成碳纳米管微气泡发生器；碳纳米管架设于金电极之间；碳纳米管与金电极的接触部位覆盖二氧化硅层；硅基底上开有通孔作为进液管，在硅基底的表面开有与进液管相连的凹槽；衬底与硅基底键合，使碳纳米管微气泡发生器与凹槽的位置相对，形成喷嘴。本实用新型克服了传统微气泡发生器功耗大的缺点，并具有良好的高密度集成的潜力，在先进制造领域具有广泛的应用前景。
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