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公开(公告)号：CN114193942A
公开(公告)日：2022-03-18
申请号：CN202111392893.5
申请日：2021-11-23
Applicant: 华中科技大学
IPC: B41J3/407 , B41J2/01 , H01L21/768
Abstract: 本发明属于半导体制造相关技术领域，其公开了一种柔性电子器件的多工序原位加工方法与装置，装置包括电喷印部件、等离子体喷头、近红外激光头及时序控制器，电喷印部件、等离子体喷头及近红外激光头分别连接于时序控制器；时序控制器用于控制电喷印部件打印绝缘材料以将柔性芯片封装在柔性基底上后，再控制等离子体喷头喷射等离子体射流以去除柔性芯片焊区的金属氧化层；时序控制器还用于控制电喷印喷头在去除金属氧化层的区域及柔性基底上金属线区之间打印导电银浆以实现柔性芯片的互连，并控制近红外激光头发射近红外光来照射导电银浆以完成导电银浆的烧结。本发明简化了步骤，提高了效率及一体化程度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114904674B
公开(公告)日：2023-07-25
申请号：CN202210604681.7
申请日：2022-05-30
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于镀膜相关技术领域，其公开了一种磁场辅助机器人协同的多喷头电喷雾曲面镀膜装置。所述装置包括机械臂、通电螺线管、墨盒以及喷头，其中：通电螺线管连接于机械臂的端部，墨盒连接于所述通电螺线管的端部，喷头连接于墨盒的端部，墨盒为所述喷头供墨；所述墨盒包括多个同轴容腔，每一同轴容腔对应一进墨口以及至少一个出墨口，同一同轴容腔的出墨口对应多个喷头，进而同一同轴容腔对应多个喷头；同一同轴容腔对应的多个喷头出墨端设置导电基板，以对喷头中的墨水进行加电。本申请可以实现纳米尺寸量级液滴在大面积复杂曲面上均匀高效镀膜。
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公开(公告)号：CN114904674A
公开(公告)日：2022-08-16
申请号：CN202210604681.7
申请日：2022-05-30
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于镀膜相关技术领域，其公开了一种磁场辅助机器人协同的多喷头电喷雾曲面镀膜装置。所述装置包括机械臂、通电螺线管、墨盒以及喷头，其中：通电螺线管连接于机械臂的端部，墨盒连接于所述通电螺线管的端部，喷头连接于墨盒的端部，墨盒为所述喷头供墨；所述墨盒包括多个同轴容腔，每一同轴容腔对应一进墨口以及至少一个出墨口，同一同轴容腔的出墨口对应多个喷头，进而同一同轴容腔对应多个喷头；同一同轴容腔对应的多个喷头出墨端设置导电基板，以对喷头中的墨水进行加电。本申请可以实现纳米尺寸量级液滴在大面积复杂曲面上均匀高效镀膜。
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公开(公告)号：CN110335943B
公开(公告)日：2021-01-19
申请号：CN201910585900.X
申请日：2019-07-01
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于有机薄膜晶体管制备领域，并具体公开了一种双栅有机薄膜晶体管及其制备方法，其首先在基底上依次制备底栅电极、底栅介电层和有源层；然后采用电流体喷印工艺，将具有介电性质的聚合物喷印在有源层上，得到数条圆形截面的聚合物纤维，在有源层上形成网格状的纤维阵列；再对此网格状的纤维阵列进行热压印，使聚合物纤维截面由圆形变为椭圆形；再在有源层和网格状的纤维阵列上制备金属导电薄膜，形成顶栅电极，最后在顶栅电极上滴涂导电介质将其引出，完成双栅有机薄膜晶体管的制备。本发明结合了电流体喷印和热压印工艺，摆脱了传统掩膜、光刻等复杂工艺对精密仪器的依赖，并保证了制备出的双栅有机薄膜晶体管的性能和质量。
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公开(公告)号：CN114193942B
公开(公告)日：2022-09-16
申请号：CN202111392893.5
申请日：2021-11-23
Applicant: 华中科技大学
IPC: B41J3/407 , B41J2/01 , H01L21/768
Abstract: 本发明属于半导体制造相关技术领域，其公开了一种柔性电子器件的多工序原位加工方法与装置，装置包括电喷印部件、等离子体喷头、近红外激光头及时序控制器，电喷印部件、等离子体喷头及近红外激光头分别连接于时序控制器；时序控制器用于控制电喷印部件打印绝缘材料以将柔性芯片封装在柔性基底上后，再控制等离子体喷头喷射等离子体射流以去除柔性芯片焊区的金属氧化层；时序控制器还用于控制电喷印喷头在去除金属氧化层的区域及柔性基底上金属线区之间打印导电银浆以实现柔性芯片的互连，并控制近红外激光头发射近红外光来照射导电银浆以完成导电银浆的烧结。本发明简化了步骤，提高了效率及一体化程度。
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公开(公告)号：CN110335943A
公开(公告)日：2019-10-15
申请号：CN201910585900.X
申请日：2019-07-01
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于有机薄膜晶体管制备领域，并具体公开了一种双栅有机薄膜晶体管及其制备方法，其首先在基底上依次制备底栅电极、底栅介电层和有源层；然后采用电流体喷印工艺，将具有介电性质的聚合物喷印在有源层上，得到数条圆形截面的聚合物纤维，在有源层上形成网格状的纤维阵列；再对此网格状的纤维阵列进行热压印，使聚合物纤维截面由圆形变为椭圆形；再在有源层和网格状的纤维阵列上制备金属导电薄膜，形成顶栅电极，最后在顶栅电极上滴涂导电介质将其引出，完成双栅有机薄膜晶体管的制备。本发明结合了电流体喷印和热压印工艺，摆脱了传统掩膜、光刻等复杂工艺对精密仪器的依赖，并保证了制备出的双栅有机薄膜晶体管的性能和质量。
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