一种半导体电阻式气体传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN104713914A

    公开(公告)日:2015-06-17

    申请号:CN201510053331.6

    申请日:2015-02-02

    Abstract: 本发明公开了一种半导体电阻式气体传感器及其制备方法。气体传感器包括绝缘衬底、信号电极和气敏层;气敏层由半导体纳米晶复合材料和石墨烯构成。利用胶态法合成半导体纳米晶溶液,能在室温下直接成膜,不需要经过高温处理,能耗小,且不会造成纳米颗粒的团聚,能够最大限度地发挥纳米颗粒比表面积大的优势,有利于气体吸附,提高传感器的灵敏度,使传感器能在较低的工作温度甚至常温下检测低浓度目标气体。制备方法简单,易于实现大规模批量生产。

    一种可拉伸半导体电阻式柔性气体传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN106814110B

    公开(公告)日:2020-11-06

    申请号:CN201710007556.7

    申请日:2017-01-05

    Abstract: 本发明公开了一种具有微褶皱薄膜结构的可拉伸半导体电阻式柔性气体传感器及其制备方法。采用可拉伸的绝缘衬底‑聚丙烯酸酯双面泡绵胶带(VHB),将其单向预拉伸一定的程度固定在刚性基底上;在预拉伸状态的VHB衬底上进行图案化的石墨烯电极和胶体量子点薄膜的制备,继而缓慢回缩VHB衬底完成传感器制备。上述方法中制备的气体传感器具有微褶皱薄膜结构的气敏层和图案化的石墨烯电极,该气体传感器具有可拉伸的柔性特征,传感器的制作温度和工作温度可低至室温,室温下可检测气体浓度的瞬间或微量变化,响应恢复速度快且灵敏度高,同时该气体传感器具有抗环境湿度干扰特性,具有更好的长期稳定性。

    一种半导体电阻式气体传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN104713914B

    公开(公告)日:2017-12-15

    申请号:CN201510053331.6

    申请日:2015-02-02

    Abstract: 本发明公开了一种半导体电阻式气体传感器及其制备方法。气体传感器包括绝缘衬底、信号电极和气敏层;气敏层由半导体纳米晶复合材料和石墨烯构成。利用胶态法合成半导体纳米晶溶液,能在室温下直接成膜,不需要经过高温处理,能耗小,且不会造成纳米颗粒的团聚,能够最大限度地发挥纳米颗粒比表面积大的优势,有利于气体吸附,提高传感器的灵敏度,使传感器能在较低的工作温度甚至常温下检测低浓度目标气体。制备方法简单,易于实现大规模批量生产。

    一种可拉伸半导体电阻式柔性气体传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN106814110A

    公开(公告)日:2017-06-09

    申请号:CN201710007556.7

    申请日:2017-01-05

    CPC classification number: G01N27/125

    Abstract: 本发明公开了一种具有微褶皱薄膜结构的可拉伸半导体电阻式柔性气体传感器及其制备方法。采用具有可拉伸特性的绝缘衬底‑聚丙烯酸酯双面泡绵胶带(VeryHighBond,VHB),将其单向预拉伸一定的程度固定在刚性基底上;并在预拉伸状态的VHB衬底上进行图案化的石墨烯电极和胶体量子点薄膜的制备,继而缓慢回缩VHB衬底后,完成传感器制备。上述方法中制备的气体传感器具有微褶皱薄膜结构的气敏层和图案化的石墨烯电极,该气体传感器具有可拉伸的柔性特征,传感器的制作温度和工作温度可低至室温,室温下可检测气体浓度的瞬间或微量变化,响应恢复速度快且灵敏度高,同时该气体传感器具有一定的抗环境湿度干扰特性,具有更好的长期稳定性。

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