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公开(公告)号：CN117073587A
公开(公告)日：2023-11-17
申请号：CN202310893900.2
申请日：2023-07-18
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于几何精度测量相关技术领域，并公开了一种去耦合自补偿的六自由度几何误差的测量系统及方法。该系统包括固定单元和测量单元，测量单元包括第一偏移量测量模块和角锥棱镜，固定单元包括激光器、第一分光棱镜、第二偏移量测量模块、激光漂移量测量模块和定位误差测量模块；第一分光棱镜将光线分为激光Ⅰ和激光Ⅱ，用于测量光线在水平和竖直两个方向上的偏移量，以及水平导轨的直线度误差和角度误差；漂移量测量模块用于测量激光器自身引起的光线平行和角度漂移量；定位误差测量模块用于测量水平导轨的定位误差。通过本发明，解决直线运动六自由度几何运动误差同步测量方法中误差解耦难度大和环境干扰严重的问题。
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