公开(公告)号：CN111551114B

公开(公告)日：2021-07-27

申请号：CN202010443775.1

申请日：2020-05-22

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 刘晓军 ,  刁宽 ,  姚贞建 ,  杨文军 ,  刘云峰 ,  汪依思

IPC: G01B11/00 ,  G01B11/27 ,  G01B11/26

Abstract: 本发明属于精密加工装备精密测量相关技术领域，其公开了一种直线导轨六自由度几何误差测量装置及方法，其包括固定单元及测量单元，固定单元包括分光棱镜、1/4波片、反射镜，其用于将激光束分裂成三束准直平行光；第四四象限探测器用于接收干涉条纹，继而实现直线导轨位置误差的测量；测量单元包括第一四象限探测器、第二四象限探测器及第三四象限探测器，第一四象限探测器、第二四象限探测器及第三四象限探测器分别用于接收三束准直平行光；对光斑的移动分量进行分离以得到直线导轨的水平直线度误差、垂直直线度误差、滚转角度误差、俯仰角度误差和偏摆角度误差。本发明提高了集成度及测量精度，适用性较强。

公开(公告)号：CN111551114A

公开(公告)日：2020-08-18

申请号：CN202010443775.1

申请日：2020-05-22

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 刘晓军 ,  刁宽 ,  姚贞建 ,  杨文军 ,  刘云峰 ,  汪依思

IPC: G01B11/00 ,  G01B11/27 ,  G01B11/26

Abstract: 本发明属于精密加工装备精密测量相关技术领域，其公开了一种直线导轨六自由度几何误差测量装置及方法，其包括固定单元及测量单元，固定单元包括分光棱镜、1/4波片、反射镜，其用于将激光束分裂成三束准直平行光；第四四象限探测器用于接收干涉条纹，继而实现直线导轨位置误差的测量；测量单元包括第一四象限探测器、第二四象限探测器及第三四象限探测器，第一四象限探测器、第二四象限探测器及第三四象限探测器分别用于接收三束准直平行光；对光斑的移动分量进行分离以得到直线导轨的水平直线度误差、垂直直线度误差、滚转角度误差、俯仰角度误差和偏摆角度误差。本发明提高了集成度及测量精度，适用性较强。