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公开(公告)号:CN110207685A
公开(公告)日:2019-09-06
申请号:CN201910508920.7
申请日:2019-06-13
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01C19/5621
Abstract: 本发明公开一种MEMS陀螺仪,属于惯性测量器件领域。本发明的梳齿石英陀螺由具有一定厚度的z切石英晶体经过雕刻或者刻蚀加工而成,包括两个驱动叉指、两个感测叉指、多个驱动电极、多个感测电极和基座。驱动叉指和感测叉指并排布置并且均相距间隔,并关于基座中心线对称。驱动叉指和感测叉指的分离避免了叉指运动的耦合以及布置在叉指上的电极间的寄生耦合,保证了陀螺的测量精度。基座开圆弧槽和方槽结构降低了陀螺的工作模态阶数和工作频率,使得驱动叉指位移增大,还提高了叉指科式振动传递效率,从而增大了输出信号,并且隔离了陀螺的有效模态和干扰模态,保证了陀螺工作的稳定性。本发明的梳齿石英陀螺整体结构简单,易于加工。
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公开(公告)号:CN110207685B
公开(公告)日:2024-06-04
申请号:CN201910508920.7
申请日:2019-06-13
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01C19/5621
Abstract: 本发明公开一种MEMS陀螺仪,属于惯性测量器件领域。本发明的梳齿石英陀螺由具有一定厚度的z切石英晶体经过雕刻或者刻蚀加工而成,包括两个驱动叉指、两个感测叉指、多个驱动电极、多个感测电极和基座。驱动叉指和感测叉指并排布置并且均相距间隔,并关于基座中心线对称。驱动叉指和感测叉指的分离避免了叉指运动的耦合以及布置在叉指上的电极间的寄生耦合,保证了陀螺的测量精度。基座开圆弧槽和方槽结构降低了陀螺的工作模态阶数和工作频率,使得驱动叉指位移增大,还提高了叉指科式振动传递效率,从而增大了输出信号,并且隔离了陀螺的有效模态和干扰模态,保证了陀螺工作的稳定性。本发明的梳齿石英陀螺整体结构简单,易于加工。
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公开(公告)号:CN110567590A
公开(公告)日:2019-12-13
申请号:CN201910881170.8
申请日:2019-09-18
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种基于双目视觉的隧道渗水检测全向移动机器人,属于隧道检测机器人领域。该机器人包括车体、全向车轮部件、传感器单元、控制单元以及红外检测单元;通过控制单元控制全向车轮部件带动车体,实现机器人的全向移动;通过传感器单元获取机器人的位置进行实时定位;通过红外检测单元远程获取隧道现场的红外和光学图像,实现检测员对隧道的远程监测。本发明可以有效地解决传统隧道渗水人工检测危险度高、工作环境差、工作任务重的问题,能够提高隧道渗水检测的安全性及准确性。
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公开(公告)号:CN210571039U
公开(公告)日:2020-05-19
申请号:CN201921551644.4
申请日:2019-09-18
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本实用新型公开了一种基于双目视觉的隧道渗水检测全向移动机器人,属于隧道检测机器人领域。该机器人包括车体、全向车轮部件、传感器单元、控制单元以及红外检测单元;通过控制单元控制全向车轮部件带动车体,实现机器人的全向移动;通过传感器单元获取机器人的位置进行实时定位;通过红外检测单元远程获取隧道现场的红外和光学图像,实现检测员对隧道的远程监测。本实用新型可以有效地解决传统隧道渗水人工检测危险度高、工作环境差、工作任务重的问题,能够提高隧道渗水检测的安全性及准确性。
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公开(公告)号:CN210570713U
公开(公告)日:2020-05-19
申请号:CN201920883255.5
申请日:2019-06-13
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01C19/5621
Abstract: 本实用新型公开一种MEMS陀螺仪,属于惯性测量器件领域。本实用新型的梳齿石英陀螺由具有一定厚度的z切石英晶体经过雕刻或者刻蚀加工而成,包括两个驱动叉指、两个感测叉指、多个驱动电极、多个感测电极和基座。驱动叉指和感测叉指并排布置并且均相距间隔,并关于基座中心线对称。驱动叉指和感测叉指的分离避免了叉指运动的耦合以及布置在叉指上的电极间的寄生耦合,保证了陀螺的测量精度。基座开圆弧槽和方槽结构降低了陀螺的工作模态阶数和工作频率,使得驱动叉指位移增大,还提高了叉指科式振动传递效率,从而增大了输出信号,并且隔离了陀螺的有效模态和干扰模态,保证了陀螺工作的稳定性。本实用新型的梳齿石英陀螺整体结构简单,易于加工。
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