公开(公告)号：CN1148273C

公开(公告)日：2004-05-05

申请号：CN00114487.1

申请日：2000-04-17

申请人： 华中理工大学

发明人： 曾晓雁 ,  王泽敏

IPC分类号： B22F9/00

摘要： 本发明公开了一种制备超细粉的方法。该方法采用粗细基本均匀的细丝，由送丝设备连续送入抽真空后的反应室，激光束或电子束经过聚焦后烧蚀细丝端部，端部整体发生爆炸式蒸发，在激光束或电子束作用的同时，通入适当流量的惰性气体或反应性气体至反应室中，并维持反应室的压力在1×10Pa至1×104Pa之间，同时采用粉末收集器收集所形成的超细粉。靶材可先预热。采用本发明可制备平均粒径小、粒度分布范围窄、产率高的高纯度超细粉。

公开(公告)号：CN1318442A

公开(公告)日：2001-10-24

申请号：CN00114487.1

申请日：2000-04-17

申请人： 华中理工大学

发明人： 曾晓雁 ,  王泽敏

IPC分类号： B22F9/02 ,  B22F9/04 ,  B22F9/14

摘要： 本发明公开了一种制备超细粉的方法和装置。粗细基本均匀的细丝,由送丝设备连续送入抽真空后的反应室,激光束或电子束经过聚焦后烧蚀细丝端部,端部整体发生爆炸式蒸发,在激光束或电子束作用的同时,通入适当流量的惰性气体或反应性气体至反应室中,并维持反应室的压力在1×10Pa至1×104Pa之间,同时采用粉末收集器收集所形成的超细粉。靶材可先预热。采用本发明可制备平均粒径小、粒度分布范围窄、产率高的高纯度超细粉。