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发明公开
轮廓测量用接触式位移传感器无效

公开(公告)号：CN1108384A

公开(公告)日：1995-09-13

申请号：CN94101873.3

申请日：1994-03-10

申请人： 华中理工大学

发明人： 蒋向前 , 谢铁邦 , 肖少军 , 谷庭西 , 路晓东 , 姚彩佩 , 李柱

IPC分类号： G01D5/32 , G01B11/30 , G01B11/24

摘要： 本发明涉及一种传感器。它采用反射型柱面全息衍射光栅，传感器的触针位移用干涉信号的脉冲当量来瞄述，干涉信号的脉冲当量为光栅常数的一半，它不随入射光波长的变化而变化，因此具有较短的干涉光路，有宽的动态范围，解决了任意曲面表面粗糙度测量困难，并可进一步用于形状误差、浓度及粗糙度和综合测量。本发明结构简单，成本低，易于商品化。