一种微结构化压敏传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN107478361B

    公开(公告)日:2019-12-24

    申请号:CN201710672381.1

    申请日:2017-08-08

    IPC分类号: G01L1/16

    摘要: 本发明提供了一种柔性压敏传感器及其制备方法,所述传感器由微结构化的柔性基板和金属导电层相复合。利用静态呼吸图的方法可获得高度有序的凹坑状孔洞,并利用聚二甲基硅氧烷复制其结构,获得半球阵列结构的弹性基板。之后负载金属层的两片薄膜与银电极和导线组装,可获得柔性压敏传感器。本发明微结构化的压敏传感器,通过微结构间接触面积随压力的变化,产生相应的电性能响应信号,不仅具备高灵敏度和柔性,还具有良好的耐久性和稳定性。

    一种微结构化压敏传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN107478361A

    公开(公告)日:2017-12-15

    申请号:CN201710672381.1

    申请日:2017-08-08

    IPC分类号: G01L1/16

    摘要: 本发明提供了一种柔性压敏传感器及其制备方法,所述传感器由微结构化的柔性基板和金属导电层相复合。利用静态呼吸图的方法可获得高度有序的凹坑状孔洞,并利用聚二甲基硅氧烷复制其结构,获得半球阵列结构的弹性基板。之后负载金属层的两片薄膜与银电极和导线组装,可获得柔性压敏传感器。本发明微结构化的压敏传感器,通过微结构间接触面积随压力的变化,产生相应的电性能响应信号,不仅具备高灵敏度和柔性,还具有良好的耐久性和稳定性。