公开(公告)号：CN117191190A

公开(公告)日：2023-12-08

申请号：CN202310845604.5

申请日：2023-07-11

Applicant: 华东光电集成器件研究所

Inventor： 王文婧 ,  陈丙根 ,  赵少宇 ,  王鹏

IPC: G01J3/02 ,  B81B7/02 ,  B81B7/04 ,  B81C1/00 ,  B81C3/00 ,  G02B26/00 ,  G01J3/26

Abstract: 本发明公开了一种集成宽波段微光机电法布里‑珀罗滤光芯片阵列及其制作方法，其器件结构包括：一系列谐振腔尺寸不同的法布里‑珀罗滤光芯片，其中每个滤光芯片单元主要包括固定镜、谐振腔、及可动镜；其中固定镜由下至上主要组成部分包括：减反膜、衬底、增反膜、驱动电极以及键合环等；可动镜由下至上主要组成部分包括键合环、驱动电极、增反膜、衬底、增透膜等；固定镜增反膜与可动镜增反膜之间利用键合环形成一系列间距不同的空气腔，用于实现不同初始波长的微光机电法布里‑珀罗滤光芯片单元，一系列具有不同初始波长的微光机电法布里‑珀罗滤光芯片单元构成宽波段微光机电法布里‑珀罗滤光芯片。本发明提供的这种宽波段微光机电法布里‑珀罗滤光芯片可用于微型光谱仪及微型光谱成像仪，具有波长覆盖范围宽、集成度高、工艺简单、成本低的优势。