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公开(公告)号:CN102064152A
公开(公告)日:2011-05-18
申请号:CN201010292271.0
申请日:2010-09-21
Applicant: 华东光电集成器件研究所
IPC: H01L23/498 , H01L21/48
Abstract: 本发明涉及一种制作厚膜电路的不锈钢基板及其制作方法,包括:A、在不锈钢板(1)的正反面网印、烧结绝缘层(2)并形成绝缘通孔(3);B、用厚膜导体浆料对绝缘通孔(3)进行填充,高温烧结形成连接导柱(4)完成不锈钢基板的制作。本发明的优点是:利用不锈钢基板制作的厚膜电路,不但具有耐高强度冲击性能,而且能够实现不锈钢厚膜基板的双面、多层高密布线;散热性好。