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公开(公告)号：CN118730068A
公开(公告)日：2024-10-01
申请号：CN202410973059.2
申请日：2024-07-19
Applicant: 华东光电集成器件研究所
IPC: G01C19/5776
Abstract: 本申请公开了一种MEMS谐振器的稳定幅度控制方法、系统及存储介质，方法包括如下步骤：将MEMS谐振器的等效动力学模型转换成状态空间方程；改变状态空间方程中输入矩阵的表达形式，将非标准的状态空间方程转换为标准的线性反馈方程；根据设定的状态权重矩阵Q和控制权重矩阵R，最小化LQR的性能指标函数，获得最优控制规则下的输入增益矩阵；根据输入增益矩阵及线性反馈方程判断驱动闭环系统是否稳定，当驱动闭环系统稳定时，获得确定增益矩阵的系数矩阵N；根据确定增益矩阵的系数矩阵N构建LQR调节器，所述LQR调节器根据接收的参考信号和驱动闭环系统的反馈信号产生驱动闭环系统的控制信号。本申请实现更快的幅值稳定速度和更小的超调。
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