公开(公告)号：CN111664786B

公开(公告)日：2022-05-27

申请号：CN202010402835.5

申请日：2020-05-13

Applicant: 上海机电工程研究所 ,  北京理工大学 ,  北方工业大学

Inventor： 沈涛 ,  李艳红 ,  朱炜 ,  陈强华 ,  刘斌超 ,  赵吕懿 ,  张琰 ,  柴娟芳 ,  杨扬 ,  周麟

IPC: G01B9/02

Abstract: 本发明提供了一种适用于双频激光干涉测量的光隔离装置及方法，包括：第一偏振分光镜、第一单向通过光路、第二偏振分光镜和第二单向通过光路；光束经过第一偏振分光镜分束为S光和P光；S光经过第一单向通过光路后进入第二偏振分光镜；P光经过第二单向通过光路后进入第二偏振分光镜；第二偏振分光镜对进入的光进行合束输出。本发明通过通过构建了单向传输路径，保证了双频激光光束的偏振特性不变，同时具备光隔离效果好、激光能量损失少、机理明确、工程实践效果好、应用范围广泛等优点。

公开(公告)号：CN110411333A

公开(公告)日：2019-11-05

申请号：CN201910577048.1

申请日：2019-06-28

Applicant: 北方工业大学

Inventor： 陈强华 ,  孔祥悦 ,  孙启国 ,  吕洪波 ,  何广平 ,  司丽娜 ,  豆照良 ,  祖岩 ,  朱炜 ,  杨延竹 ,  李艳红 ,  柴娟芳

IPC: G01B9/02

Abstract: 本发明涉及一种新型激光偏振相移干涉层析测量装置，其包括激光器，激光器的输出光路上从左到右依次设置有第一偏振片和偏振分光镜；偏振分光镜的透射光路上设置有第一反射镜，偏振分光镜的反射光路上设置有第二反射镜；第二反射镜的反射光路上从左到右依次设置有扩束系统、待测样品和缩束系统；缩束系统的出射光路和第一反射镜的反射光路的交汇处设置有分光镜，分光镜的透射光路上从左到右依次设置有四分之一波片、第二偏振片，聚焦透镜、CCD探测器。提供了一种新型激光偏振相移干涉层析测量装置及方法，其用于测量透明/半透明介质或流场的折射率分布，且相位检测精度高于传统的光学相干层析光路。

公开(公告)号：CN109855743A

公开(公告)日：2019-06-07

申请号：CN201910009286.2

申请日：2019-01-04

Applicant: 北方工业大学

Inventor： 陈强华 ,  孔祥悦 ,  孙启国 ,  吕洪波 ,  何广平 ,  司丽娜 ,  豆照良 ,  祖岩 ,  朱炜 ,  李艳红 ,  柴娟芳 ,  杨延竹

IPC: G01J9/02

Abstract: 本发明涉及一种双频激光外差干涉相位测量大尺寸光学平面的装置，双频激光器的输出光路上设置有第一扩束系统，第一扩束系统的输出光路上设置有偏振分光棱镜，偏振分光棱镜的反射光方向设置有参考信号获取系统，偏振分光棱镜的透射光方向设置有待测信号获取系统，偏振分光棱镜的反射光方向的相反方向设置有偏振片，偏振片的输出光路上设置有分光镜，分光镜的透射光方向设置有第一光电探测器，分光镜的反射光方向设置有依次设置有待测信号测量系统。本发明还提供一种双频激光外差干涉相位测量大尺寸光学平面的方法。本发明所公开的测量装置和方法精度较高，且能测量较大面积的光学平面。

公开(公告)号：CN111664786A

公开(公告)日：2020-09-15

申请号：CN202010402835.5

申请日：2020-05-13

Applicant: 上海机电工程研究所 ,  北京理工大学 ,  北方工业大学

Inventor： 沈涛 ,  李艳红 ,  朱炜 ,  陈强华 ,  刘斌超 ,  赵吕懿 ,  张琰 ,  柴娟芳 ,  杨扬 ,  周麟

IPC: G01B9/02

Abstract: 本发明提供了一种适用于双频激光干涉测量的光隔离装置及方法，包括：第一偏振分光镜、第一单向通过光路、第二偏振分光镜和第二单向通过光路；光束经过第一偏振分光镜分束为S光和P光；S光经过第一单向通过光路后进入第二偏振分光镜；P光经过第二单向通过光路后进入第二偏振分光镜；第二偏振分光镜对进入的光进行合束输出。本发明通过通过构建了单向传输路径，保证了双频激光光束的偏振特性不变，同时具备光隔离效果好、激光能量损失少、机理明确、工程实践效果好、应用范围广泛等优点。

公开(公告)号：CN110030921B

公开(公告)日：2021-02-02

申请号：CN201910398234.9

申请日：2019-05-14

Applicant: 北方工业大学

Inventor： 陈强华 ,  孔祥悦 ,  孙启国 ,  吕洪波 ,  何广平 ,  司丽娜 ,  豆照良 ,  祖岩 ,  朱炜 ,  杨延竹 ,  李艳红 ,  柴娟芳

IPC: G01B9/02

Abstract: 本发明涉及一种剪切量可调的透射式双频激光微分干涉测量装置及方法。本发明所公开的装置和方法使用两个渥拉斯顿棱镜代替Nomarski棱镜和透镜，移动第二渥拉斯顿棱镜可使光束剪切量在一定范围内可调，以便适应不同情况被测相位物体的测量需求；且采用双频激光作为光源，相干性更强，形成的干涉图案更清晰。

公开(公告)号：CN109855743B

公开(公告)日：2020-10-09

申请号：CN201910009286.2

申请日：2019-01-04

Applicant: 北方工业大学

Inventor： 陈强华 ,  孔祥悦 ,  孙启国 ,  吕洪波 ,  何广平 ,  司丽娜 ,  豆照良 ,  祖岩 ,  朱炜 ,  李艳红 ,  柴娟芳 ,  杨延竹

IPC: G01J9/02

Abstract: 本发明涉及一种双频激光外差干涉相位测量大尺寸光学平面的装置，双频激光器的输出光路上设置有第一扩束系统，第一扩束系统的输出光路上设置有偏振分光棱镜，偏振分光棱镜的反射光方向设置有参考信号获取系统，偏振分光棱镜的透射光方向设置有待测信号获取系统，偏振分光棱镜的反射光方向的相反方向设置有偏振片，偏振片的输出光路上设置有分光镜，分光镜的透射光方向设置有第一光电探测器，分光镜的反射光方向设置有依次设置有待测信号测量系统。本发明还提供一种双频激光外差干涉相位测量大尺寸光学平面的方法。本发明所公开的测量装置和方法精度较高，且能测量较大面积的光学平面。

公开(公告)号：CN110030921A

公开(公告)日：2019-07-19

申请号：CN201910398234.9

申请日：2019-05-14

Applicant: 北方工业大学

Inventor： 陈强华 ,  孔祥悦 ,  孙启国 ,  吕洪波 ,  何广平 ,  司丽娜 ,  豆照良 ,  祖岩 ,  朱炜 ,  杨延竹 ,  李艳红 ,  柴娟芳

IPC: G01B9/02

Abstract: 本发明涉及一种剪切量可调的透射式双频激光微分干涉测量装置及方法。本发明所公开的装置和方法使用两个渥拉斯顿棱镜代替Nomarski棱镜和透镜，移动第二渥拉斯顿棱镜可使光束剪切量在一定范围内可调，以便适应不同情况被测相位物体的测量需求；且采用双频激光作为光源，相干性更强，形成的干涉图案更清晰。

公开(公告)号：CN211954036U

公开(公告)日：2020-11-17

申请号：CN202020790141.9

申请日：2020-05-13

Applicant: 上海机电工程研究所 ,  北京理工大学 ,  北方工业大学

Inventor： 李艳红 ,  柴娟芳 ,  赵吕懿 ,  沈涛 ,  朱炜 ,  陈强华 ,  刘斌超 ,  荆娜 ,  张琰 ,  冯晓晨 ,  田义 ,  杨扬 ,  周麟

IPC: G01B11/02

Abstract: 本实用新型提供了一种转台轴线方向位移测量装置,包括双频激光头100、分光组件200、干涉光路组件300、检测系统400、转台反射件510、转台520、支撑平台540、缩束组件700以及光隔离组件800，转台520为待测量件，转台反射件510设置在转台520上，双频激光头100、分光组件200、干涉光路组件300、缩束组件700以及光隔离组件800均安装在支撑平台540上。本实用新型容易实现共光路结构，使测量系统具有很好的抗干扰性与稳定性，实现了光隔离的功能，有效防止回授光带来的双频激光头失稳，相位传感器没有读数的问题；本实用新型可获得更高的测量精度，适合五轴转台的现场校准需求。