一种太赫兹波段MEMS复合梁开关
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116799451A

    公开(公告)日:2023-09-22

    申请号:CN202310783506.3

    申请日:2023-06-29

    Abstract: 本发明公开了一种太赫兹波段MEMS复合梁开关,属于射频前端器件技术领域。其由直流端口金属块,直流偏置线,微带线匹配结构,复合梁,中间导通结构,金属电极,氮化硅绝缘层,硅基衬底,金属地组成。该开关为复合固支梁电容式开关,复合梁由二氧化硅材料固支梁及吸附在其下方的金属梁组合而成,直流端口分别经过直流偏置线连接到金属梁锚点位置及金属电极,可以通过直流端口输入不同直流电压控制复合梁的抬起状态与吸附到电极的下拉状态,分别对应着开关的断开状态与导通状态。本发明可以在太赫兹波段350GHz频率以下实现高隔离度:微秒量级的响应时间,且不易发生破坏性形变;结构简单、制造方便,可以通过硅基工艺进行制造。

    一种宽波束内弧形微带天线
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115632242A

    公开(公告)日:2023-01-20

    申请号:CN202211349298.8

    申请日:2022-10-31

    Abstract: 本发明公开了一种宽波束内弧形微带天线,自下而上依次设置几何中心共线且呈方形的第一金属层、第一介质层、第二金属层、第二介质层和回型寄生单元;其中,所述回型寄生单元下方设有辐射贴片;所述第一介质层中设有馈电网络,所述第二金属层上设有U型缝隙,共同构成馈电结构;所述微带天线还具有SIW结构,所述SIW结构将辐射贴片与馈电结构在水平方向上完全包围起来;所述SIW结构具有多个金属通孔,贯穿微带天线上下全部结构。该天线加载回型寄生单元位于天线最顶层,能够减小天线的辐射口径和增益,从而增大波束宽度。具有结构简单、设计方便、宽带宽、宽波束等特点。

    一种RF MEMS开关的太赫兹可编程超表面单元

    公开(公告)号:CN119764834A

    公开(公告)日:2025-04-04

    申请号:CN202411701196.7

    申请日:2024-11-26

    Abstract: 本发明公开了一种RF MEMS开关的太赫兹可编程超表面单元,属于通信技术领域,包括:第二衬底;正极控制线;背覆地;第一衬底;直流接地柱;上贴片;信号线;RF MEMS开关;直流偏置线结构。通过直流电压变化来控制开关的断开与导通,实现超表面单元180°反射相位差,本发明达到了技术效果:(1)180°反射相位差工作带宽大,在285GHz到320GHz,反射相位差范围在172°到193°;(2)反射相位高线性度,在285GHz到320GHz,开关down态时的反射相位范围在117°到52°,开关up态时的反射相位范围在‑53°到‑129°;(3)加工工艺要求低,开关的第二层锚点和下电极分别采用偏置线相连,减少电极打孔数量;(4)偏置线部分使用金属,减小偏置线的分压,降低驱动电压。

Patent Agency Ranking